封面
中文摘要
英文摘要
目錄
圖目錄
表目錄
第 1 章
1.1 真空計的分類
1.2 微真空感測器
第 2 章
2.1 理想氣體動力學
2.2 熱體熱導
2.3 結論
第 3 章
3.1 元件的結構和製程
3.2 元件熱特性分析
3.3 電訊號分析
3.4 溫度補償及室溫控制
3.5 實驗與結果
3.6 結論
第 4 章
4.1 熱導型高壓計之原理
4.2 小間距元件製程及特性
4.3 壓力校正及分析
4.4 氣體對流效應
4.5 實驗結果與討論
4.6 結論
第 5 章
附錄 A 矽微加工技術簡介
A.1 異方性蝕刻技術
A.2 表面微加工技術
A.3 低應力介電薄膜沉積
參考資料
|