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研究生:蔡姿婷
研究生(外文):Tsai, Tzu-Ting
論文名稱:堆疊式高介電電荷儲存層對電荷陷阱式快閃記憶體元件之影響
論文名稱(外文):Effects of Stacked High-K Charge trapping layers on Charge Trapping-type Flash Memory Device
指導教授:張廖貴術
指導教授(外文):Chang-Liao, Kuei-Shu
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工程與系統科學系
學門:工程學門
學類:核子工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2009
畢業學年度:97
語文別:中文
論文頁數:94
中文關鍵詞:高介電電荷儲存層氮化矽
外文關鍵詞:HfAlO
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當浮動式閘極結構之快閃記憶體無法滿足元件微縮的發展時,SONOS-type是取代浮動閘極結構的熱門候選者之一。但是,以氮化矽為電荷儲存層之SONOS快閃記憶體發展到次微米以下時並無法再以降低穿隧氧化層的方式來提高寫入速度,故有很多文獻將以高介電係數材料來取代氮化矽來當作電荷儲存層,但此時面臨到的考驗將會是電荷保持力的持久度。
本實驗將利用不同高介電係數材料以及氮化矽將以堆疊的方式堆疊出電荷儲存層,研究主要是利用不同材料具有不同的特性,配合堆疊式的結構,藉著電荷陷阱密度的多寡、材料結晶溫度的高低、能隙大小的改變、K值影響分壓的不同、陷阱能階的深淺等種種原因,利用能帶工程堆疊出最恰當的電荷儲存層。
由實驗結果得知,不同Hf/Al組成比之HfxAlyO與Si3N4堆疊出的電荷儲存層,會因為Hf:Al比例不同,造成能隙的變化,進而影響操作速度;另外也會因為操作電壓不同,改變主導機制,而呈現不同的寫入/抹除/電荷保持力元件效能。同樣的,不同Hf/Al組成比之HfxAlyO與La2O3堆疊出不同的電荷儲存層,也會受這些情況的影響,此外更探討了退火溫度所帶來的效應。
第一章 序論
1.1 前言
1.2快閃記憶體面臨問題
1.3 SONOS快閃記憶體的結構及其優點與面臨問題
1.4 High-K 材料應用在快閃記憶體的儲存層上
1.5 各章摘要
第二章 快閃記憶體元件操作方法
2.1寫入與擦拭方法
2.1.1通道熱電子注入寫入
2.1.2 F-N穿隧寫入
2.1.3 F-N穿隧擦拭
2.2耐力
2.3干擾
2.4電荷保持
第三章 實驗規劃及元件製程
3.1 實驗規劃
3.2 電容元件製程
3.2.1 電容前段製程
3.2.2 成長穿隧氧化層
3.2.3 沈積電荷儲存層及阻擋氧化層
3.2.4後段製程
第四章 Si3N4搭配各種組成比HfxAlyO堆疊之電荷儲存層對電荷陷阱式快閃記憶體元件的影響
4.1研究背景與目的
4.2實驗規劃及製程
4.3實驗結果與討論
4.3.1堆疊式雙層與單層電荷儲存層之比較
4.3.2 Si3N4與不同組成比之HfxAlyO搭配作堆疊式雙層
電荷儲存層之比較
4.4結論
第五章 高介電材料La2O3與HfxAlyO堆疊與單層HfxAlyO之電荷儲存層對電荷陷阱式快閃記憶體元件之特性研究
5.1研究背景與目的
5.2實驗規劃及製程
5.3實驗結果與討論
5.3.1阻擋氧化層之最佳化退火溫度比較
5.3.2 La2O3和HfAlO(Hf:Al=1:1)堆疊做雙層電荷儲存層,
與單層的HfAlO(Hf:Al=1:1)電荷儲存層之比較
5.3.3 La2O3和HfO2堆疊做雙層電荷儲存層,
與單層的HfO2電荷儲存層之比較
5.4結論
第六章 高介電材料La2O3與不同組成比HfxAlyO堆疊之電荷儲存層以及不同退火溫度對電荷陷阱式快閃記憶體元件
之特性研究
6.1研究背景與目的
6.2實驗規劃及製程
6.3實驗結果與討論
6.3.1雙層La2O3與HfxAlyO,堆疊成不同結構之電荷儲存層,
對元件操作特性影響之比較
6.3.2 不同的退火溫度對La2O3和HfO2堆疊成的
雙層式電荷儲存層之特性影響
6.4結論
第七章 結論與建議
7-1結論
7-2建議
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