臺灣博碩士論文加值系統

TFT-LCD產業的蓬勃發展，產品及技術更新快速，玻璃基板尺寸也隨各世代逐步放大。生產過程中使用大量的原物料及化學品，使得生產製造過程產生的廢棄物亦隨之增加。因此，如何降低化學品耗用量，已成為各製造廠關切的問題。目前各種化學品回收系統已逐漸應用於TFT-LCD產業，除了能有效的降低製造成本外，更能達到產業廢棄物的減量，對產業的競爭力及提升資源再使用率有相當貢獻。
剝離液回收系統已廣泛使用於TFT-LCD產業，其原理主要是在真空狀態下藉由蒸發及蒸餾程序，將不純物、水分及光阻去除。本研究共分為三階段進行，第一階段是利用田口方法設計實驗，找出提升薄膜蒸發器蒸發效能最佳操作條件。第二階段是利用蒸餾塔塔頂的溫度調整，提高剝離液與低沸點物質的分離效率。第三階段為回收液品質與節省能源之間建立平衡點。精餾塔回流量越大精餾效果越好，但相對所投入的蒸氣量亦會增加，所以控制回流量大小並觀察回收液品質，在節能及品質控管取得最佳操作條件。

The vigorous development of TFT-LCD industry makes products and technique update fast. And the glass plate size also gradually enlarges along with various generations. Using much chemicals and materials in the production process increases more and more rejects. Therefore, how to reduce the use of chemicals is major care for every manufacturing factory. Every recycle system has been gradually applied in TFT-LCD industry. Besides it can effectively reduce the cost of production,it also can decrease the reject. So this way has quite contribution for increasing the competition and promoting the ratio of.
The stripper recycle system has widely used in the TFT-LCD industry, its principle is mainly under the vacuum state because of the evaporation and the distillation procedure, impurity, moisture and photoresistor elimination. This research altogether divides into three parts to carry on, first stage use Taguchi Method design experiment, discovers promotes Agitated Film Evaporators evaporation potency optimal operating condition. The second stage uses distillation tower''s top temperature adjustment, enhances the Stripper and the low boiling materials separation efficiency. The third stage to established the balance point between the fluid quality and the energy conservation. The Rectification tower backflow quantity bigger rectifying is better, but the steam input will also increase, therefore the control backflow quantity size and observes the product quality, Is conserving energy and the quality control obtains the optimal operating condition.

摘要............................................................................................................I
Abstrace.....................................................................................................II
目錄..........................................................................................................III
圖目錄......................................................................................................VI
表目錄...................................................................................................VIII
符號表.......................................................................................................X
第一章 前言............................................................................................1
1-1 TFT-LCD產業說明..................................................................1
1-2 TFT-LCD廢棄物產量及推估..................................................4
1-3 研究動機.................................................................................10
1-4 研究方法................................................................................11
第二章 原理..........................................................................................13
2-1 TFT-LCD製程說明................................................................13
2-1-1 Array製程..................................................................14
2-1-2 Cell製程....................................................................18
2-1-3 Module製程...............................................................19
2-2 光阻剝離程序........................................................................20
2-3 蒸發及蒸餾原理介紹............................................................21
2-3-1 蒸發原理....................................................................21
2-3-2 蒸餾原理...................................................................21
2-3-3 填充塔原理...............................................................24
2-3-4 氣液平衡關係...........................................................27
2-4 田口方法介紹........................................................................29
第三章 實驗方法與研究流程..............................................................35
3-1 剝離液回收及供應流程........................................................35
3-2 剝離液回收系統簡介............................................................38
3-3 攪拌式膜蒸發器介紹............................................................40
3-4 田口方法研究流程................................................................43
3-4-1 因子水準設定...........................................................43
3-4-2 直交表的選用...........................................................46
3-4-3 實驗的執行與紀錄...................................................48
3-5 提升蒸餾塔水分分離效率....................................................53
3-6 回收液品質與節能平衡點建立............................................56
第四章 實驗結果與討論......................................................................57
4-1 田口實驗結果........................................................................58
4-1-1 確認實驗...................................................................62
4-2 提升蒸餾塔低沸點物質分離效率........................................64
4-2-1 實驗數據及結果.......................................................65
4-3 回收液品質與節能平衡點建立實驗結果............................65
4-3-1 實驗數據及結果.........................................................66 4-4 效益分析及驗證.....................................................................68
第五章 結論與建議..............................................................................71
5-1 結論........................................................................................71
5-2 建議........................................................................................73
參考文獻..................................................................................................74
附錄..........................................................................................................77
誌謝........................................................................................................104

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