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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳欣懋
研究生(外文):Chen, Sin-Mao
論文名稱:線上自動化之薄膜測厚系統
論文名稱(外文):Automatic in-site measurement system for thin film thickness
指導教授:王永成王永成引用關係
指導教授(外文):Wang,Yung-Cheng
口試委員:馮國華徐力弘
口試委員(外文):Feng,Guo-HuaShyu,Li-Hon
口試日期:2016-07-27
學位類別:碩士
校院名稱:國立雲林科技大學
系所名稱:機械工程系
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2016
畢業學年度:104
語文別:中文
論文頁數:43
中文關鍵詞:薄膜測厚薄膜製程電容位移計渦電流位移計
外文關鍵詞:thin film thickness measurementfilm processcapacitive displacement sensoreddy current displacement meter
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塑膠薄膜的生產過程共有六個主要製程,分別為混煉、押出、成形、冷卻、壓花,及裁切。其中押出製程主要控管的薄膜厚度,若生產出來的薄膜厚度不均,會影響其品質之良率,亦會造成材料之浪費,因此,必須在此製程進行薄膜厚度之監測。
傳統之薄膜厚度量測是採用分厘卡進行量測,會有人為誤差以及無法記錄生產履歷之缺陷。因此本研究使用電容位移計及渦電流位移計開發線下及線上薄膜厚度量測系統,先透過線下量測系統進行相關之測試及實驗,並將此方式應用至線上進行使用,以改善人工量測之缺陷,達到即時量測的效果,亦可建立出薄膜之生產履歷。
本研究為了驗證量測系統之性能,分別對線下及線上薄膜厚度量測系統進行重複性及準確性實驗,其量測結果顯示線下薄膜厚度量測系統之量測精度約為0.008mm,最大誤差量為-0.006mm,線上薄膜厚度量測系統之量測精度約為0.05mm,最大誤差量為-0.044mm。

Plastic film has six manufacturing process: mixing, extrusion, molding, cooling, embossing and cutting. Extrusion process control of film thickness. If film thickness non-uniformity will affect the quality. Therefore, in this process a thin film thickness monitoring is necessary.
Traditional film thickness measurement mode is the use of micrometer.This method will not record production history and will cause measurement error. Thus,this research use capacitive displacement sensor and eddy current displacement meter developed thickness measurement system and it can test thickness measurement system. This thickness measurement system can be used in the film thickness measurement and it also has two advantages of improving measurement error and achieving real-time measurement.
In order to verify thickness measurement capability of the system, its repeatability has been analyzed. Precision of thickness measurement system is 0.008 mm and deviation is -0.006 mm. Precision of in-site thickness measurement system is 0.05 mm and deviation is -0.044 mm.

摘要........................i
ABSTRACT...................ii
目錄.......................iii
表目錄.......................v
圖目錄......................vi
第一章 緒論...................1
1.1前言......................1
1.2研究動機與目的.............1
1.3 文獻探討與技術發展........1
1.4 論文概述.................3
第二章 量測原理...............4
2.1量測原理介紹...............4
2.1.1電容感測原理.............4
2.1.2 渦電流感測原理..........6
2.2薄膜量測方式...............6
2.3待測物介紹.................7
2.4位移計校正方式.............9
2.4.1渦電流位移計校正.........9
2.4.1 電容位移計校正.........10
第三章 量測系統..............11
3.1量測系統架構..............11
3.1.1 線下薄膜厚度量測系統....11
3.1.2線上薄膜厚度量測系統.....12
3.2硬體設備..................14
3.2.1電容位移計..............14
3.3軟體介紹..................18
3.3.1軟體量測流程............18
3.3.2軟體介面說明............19
第四章 量測結果分析...........22
4.1線下量測結果分析...........24
4.1.1 線下重複性分析.........24
4.1.2線下準確性分析...........25
4.2 線上量測結果分析...........26
4.2.1 線上重複性分析...........26
4.2.2線上準確性分析............30
第五章 結論與建議..............32
5.1結論.......................32
5.2建議.......................33
參考文獻......................34

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[3] 李恆,電容式塑料薄膜厚度掃描檢測系統的研究,碩士論文,天津大學,2007
[4] 李玉明,電容塑模厚度傳感器及其在線檢測系統研究,碩士論文,山東建築大學,2012
[5] 熊劍平,厚膜電容式微位移傳感器及其信號處理方法研究,碩士論文,中國科學技術大學,2010
[6] 馬玉真,塑膜厚度在線檢測系統的設計及應用,期刊,天津大學
[7] Liu Changhui,Chen Yanli1, Guo Xv1,Zhang Yanduo,“Measure Thickness of Magnetic Thin-Film Based on the Capacitance -To-Frequency Signal Conversion, ”International Conference on Internet Computing and Information Services(2011)
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[9] 黃純夫,品管檢測技術與校正實務非破壞檢測應用,中華民國品質管制學會,初版,1996
[10] 陳永增,非破壞檢測,全華圖書,初版,1999
[11] 賴耿楊,聚丙烯樹脂PP原理與應用,初版,復漢出版社,1999
[12] 台灣基恩斯股份有限公司,感測器產品目錄
[13] 陳昌順,非破壞檢驗(NDT)講義
[14] MEMSTEC 麥思科技有限公司,位移計產品介紹
[15] 台灣東方馬達股份有限公司,馬達產品介紹

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