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本論文探討表面聲波元件的特性及研製，包括了表面聲波濾波器與聲光效應元件。首
先討論表面聲波在層結構ZnO/GaAs中的傳播特性。交指式電極是電與聲波間的轉換元
件，利用窗函數模擬其有限脈衝響應及設計。GaAs/AlGaAs 平面式導波器對光的傳導
特性關係著聲光效應元件的成功與否。對馬克斯威爾方程式作理論計算，以求得到Ga
As/AlGaAs 所形成導波器的最佳組成。
C-軸方向氧化鋅薄膜且重複率甚高的濺射參數如下：基底溫度不加溫 (利於往後製程
) ，射頻功率220 瓦，氣體壓力8×10 TORR 及氧氣混合百分比50% 。從X-RAY 繞射
圖及SEM 圖可以評估外，濾波器的頻率響應得知其壓電性好壞。為利於聲光效應元件
的研製，各種情況所製成濾波器測量其特性如下：砷化鎵上直接鍍電極，氧化鋅鍍電
極，在砷化鎵及氧化鋅間加鍍層金屬及氧化鋅層作成漸近區，其中心頻率都約在72ME
z ，其3dB 頻寬前三者是2.5dB 及後者2dB, out-of-band rejection分別是6, 23, 2
6 及4dB ，及嵌人損失分別是51.38, 28.36, 22.70 及36.62dB 。氧化鋅加強了砷化
鎵基底的壓電特性，在氧化鋅及砷化鎵間加鍍層金屬改善了壓電性，而且氧化鋅厚度
亦不必太厚的優點。雖然在氧化鋅薄膜作成漸近區，有利於光測試時的對準，但額外
過程卻增加額外損失。我們亦嘗試較高頻濾波器。如此的結果，使我們有較高頻的製
程能力與聲光效應元件研製的憑藉。
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