摘要 I
Abstract II
致謝 III
目錄 IV
圖目錄 VII
表目錄 VI
第一章 緒論 1
1.1前言 1
1-2研究動機 6
1.3研究方法與論文架構 7
第二章 文獻回顧 9
第三章 元件設計與模擬 20
3-1 雙微掃描鏡面元件設計 20
3-2 元件理論分析 22
3-2-1 元件設計方法 22
3-2-2 偏心結構 23
3-2-3 Y字型扭轉軸 24
3-3 元件模擬分析 28
3-3-1 偏心結構模擬分析 30
3-3-2 Y字型扭轉軸模擬 31
3-3-3 元件模態與角度模擬分析 33
3-4 壓電介紹 38
3-4-1 壓電效應 38
3-4-2 壓電元件之種類 39
3-4-3 雙層式壓電致動器 40
第四章 元件製程設計與整合 44
4-1 LIGA-like製程介紹 44
4-1-1 LIGA-like製程 44
4-1-2 微電鑄製程 46
4-2微掃描鏡製程設計 50
4-2-1濺鍍金屬靶材 51
4-2-2雙微掃描鏡面製程 52
4-2-3剝離(lift-off)製程 56
4-3微掃描光學模組之建構 58
第五章 量測與實驗結果 60
5-1元件量測 60
5-1-1元件靜態量測 60
5-1-2元件動態量測 65
5-2 投影方法建立 76
5-2-1 圖形投影編碼 76
5-2-2 圖形投影實驗 77
5-3可靠性測試 80
5-4 量測結果討論 82
5-4-1電鑄製程之誤差討論 82
5-4-2量測與模擬之比較 86
第六章 結論與未來工作 93
6-1 結論 93
6-2未來工作 94
參考文獻 95
附錄一 鎳(Ni)材料係數 100
附錄二 PZT-4材料係數 101
作者自述 102
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