臺灣博碩士論文加值系統

在半導體晶圓製造的過程中須使用大量的化學品，以滿足半導體廠生產不中斷的特性。因此，半導體廠必須利用化學品槽車，以灌裝方式來補充製程所需化學品及清運相關廢液。而化學液槽車作業流程作業中，因其具有危害且量大的特性，一旦有大量化學品洩漏或充填錯誤發生，將造成人員安全問題或作業環境汙染，甚至可能導致生產中斷及環保問題。
本論文研究主要是以半導體廠化學液槽車灌裝進行安全風險評估，其範圍包含化學品原物料槽車入廠灌充及廢液回收裝填作業，透過實地的作業觀察進行工作安全分析及風險評估，了解半導體廠槽車作業的灌裝安全風險及現有控制。同時收集近10年內之半導體廠發生的槽車填充安全意外案例，根據分析的結果，提供有效的安全預防措施建議，透過實務的改善經驗，提供其他業界參考，期能改善化學液槽車灌裝作業安全，進而發展出最佳化之化學液槽車灌裝作業安全對策。
研究結果顯示: 化學液槽車作業步驟主要為：槽車進廠、定位、管路銜接、填充加藥、管路脫離及離廠等作業流程。在槽車的進出廠及定位危害已被有效控制，但在管路銜接、填充加藥過程、管路脫離等作業則仍須改善，以降低相關偶發之工安意外事件。改善措施包含針對加藥管路銜接及脫離步驟可能造成之人員墜落預防、管路銜接錯誤再增設fail-safe 設施控制、進行作業區hot-zone之管制、加強人員防護具(PPE)保護、及改善管路脫離前之殘液/殘氣排除效能，以避免脫離加藥管路作業時的殘液洩漏風險。研究結果同時顯示70%的實際槽車作業安全意外案例，係發生在廢液的槽車灌裝作業。因此，半導體廠應更加特別注意有關廢液回收槽車之安全要求及管理。

For semiconductor wafer continuous production process, all Fabs need a great volume, and reliable, uninterrupted chemical supply system. Therefore, Semiconductor plants have to use liquid chemical lorry for the production line and also to ship away big volume of waste liquid chemical. And during liquid chemical loading/unloading, because of the hazard and volume, in case of spill or incorrect loading/unloading to mix incompatible chemicals, the consequences could be serious human health/safety impact, environmental pollution, or even production interruption.
This study majorly focus on site observation and risk analysis of semiconductor plant liquid chemical lorry loading/unloading operation, which covers raw chemical lorry unloading into tank and waste chemical unloading into lorry. With site observation and risk analysis, we understand the lorry operation risk and existing control measures and we collected abnormal events over the past 10 years related to lorry loading/unloading operation, and carried out an analysis to come up with an effective prevention recommendation, and through practical improvement experience, we can share with other industries/plants; hopefully, we can improve all chemical lorry loading/unloading operation and ensure lorry related operation accuracy and safety.
The main stages of the chemical lorry operation is lorry driving in, parking/positioning, piping connecting, unlading/loading, piping disconnecting, lorry driving out. At the stages of lorry driving in and parking/positioning of which risks are effectively controlled, however, piping disconnecting, loading/unloading, and piping disconnecting stages need to be improved to minimize the risks or abnormal events. The improvement includes; operator’s fall prevention during piping disconnecting/connecting; adding fail safe mechanism to prevent incorrect piping connecting; the control of the hot zone; PPE enhancement; and the effective purge of chemical liquid/vapor residue prior to piping disconnecting to minimize the chemical spill risks. The study also shows that about 70% of lorry related events were occurred during liquid waste chemical lorry loading/unloading. So we should pay more attention to waste chemical lorry safety management.

中文摘要…………………….……….……………………………….. I
英文摘要..…………………………..………………………………… III
誌謝………………………………………………………..………...... V
目錄……………………………………………....…………………… VI
表目錄.. ……………………………………………………………..... VIII
圖目錄..……………………………………..………...………………. IX
一、 緒論……………………………………………………………… 1
1.1 研究動機及緣起………………….………………………….. 1
1.2 研究目的…….…………………………………………..…… 1
1.3 研究範圍……..…………………………………………....…. 2
1.4 研究方法與架構……………………………………....…….. 2
二、 文獻回顧…………………………………………......…………. 4
2.1 化學品槽車的安全風險……………………………...……… 4
2.2 半導體製程簡介………………………………………...….... 9
2.3 半導體化學品使用簡介……………………...…………..….. 11
2.4 槽車化學品危害特性.………………………….……….…… 13
2.5 化學品供應及廢液收集說明……………………………….. 15
2.6 化學品槽車灌裝作業安全規定…………………………...… 16
2.7 半導體化學品槽車灌裝作業安全規定………….……...….. 18
2.8 化學液槽車灌裝作業型式及風險評估..………………….… 19
2.9 危害鑑別與風險評估方法..…………………………….....… 24
三、 研究方法………………………….…………………………….. 33
3.1 風險評估方法………………………………………………... 33
四、 研究結果與討論 ……………………………………….……… 37
4.1 槽車作業安全事件案例調查結果與分析…………….……. 37
4.2 槽車作業流程說明…………………………………….……. 38
4.3 槽車風險評估結果………………………………………….. 38
4.4 控制措施之研究……………………………………....…….. 49
4.5 半導體槽車灌裝作業改善實務……………………….……. 51
4.6 控制措施後之風險評估結果……………………………….. 54
4.7 槽車灌裝作業最佳化對策研究 …………………………….. 56
五、 研究結論……………………………………………………….. 58
六、 結語與未來方向………………………………………..…........ 61
參考文獻…………………………………………………………….…. 62
附錄一 ………………………………………………………….……… 64
附錄二 ……………………………………………………….………… 68
附錄三……………………………………………………………….….. 77
附錄四…………………………………………………………………... 83

〔1〕 邱松嵐等，化學製品業安全衛生自主管理實務手冊，初版，台北，著者發行，民國九十二年。
〔2〕 于樹偉，周更生，化學工業安全概論，新科技書局，台北，民國九十年。
〔3〕 賴瑩穎，爆炸災害風險管理之研究-以儲槽爆炸為例，碩士論文，台南，民國九十五年。
〔4〕 郭金鷹、李文亮、洪肇嘉、李旻謙、周芸，化學品運輸安全脆弱性分析，台中，民國一百年。
〔5〕 張承明、歐新榮，公路槽車洩漏、火災及爆炸事故模擬研究，勞工安全衛生研究季刊，民國九十五年。
〔6〕 鍾欣儀，主動式化學品充填防呆安全系統之研發，碩士論文，中壢，民國九十五年。
〔7〕 高振山、陳范倫、胡冠華，福國化工事故檢討分析，工研院環安中心，民國九十年。
〔8〕 http://www.appledaily.com.tw/appledaily/article/headline/20101231/33077234
〔9〕 Canadian Petroleum Products Institute - Province of Quebec ,「Truck-to-Truck Transfer Procedures, 2001 March.
〔10〕 莊達人，VLSI 製造技術，高立圖書有限公司，台北，民國九十七年。
〔11〕 李世鴻，積體電路製程技術 ，五南圖書有限公司，台北，民國八十七年。
〔12〕 李豐良、黃冠霖，半導體製程之化學品供應系統SOP 規劃探討，第四屆(產業管理創新研討會，修平技術學院，台中，民國九十年。
〔13〕 道路交通安全規則
〔14〕 勞工安全衛生設施規則
〔15〕 Andrew Baird, et al. Guidance on risks and precautions for bulk liquid loadin_unloading, Cefic and ECTA, 2009.
〔16〕 Johan Bakker, et al. Behaviour Based Safety - Safe Loading and Unloading of Road Freight Vehicles, Cefic and ECTA, 2004.
〔17〕 BSI, Occupational Health and Safety Management Systems Specification (OHSAS 18001), 1999.
〔18〕 29CFR Part1910.119 Process Safety Management of Highly Hazardous Chemicals, US Government, 1992.
〔19〕 Dow, Chemical Exposure Index Guide, First ed., The Dow Chemical Company, 1986.
〔20〕 SEMI S2-93A & SEMI S2-0200 Semiconductor Manufacturing Equipment Safety Guidelines, SEMI International.
〔21〕 SEMI S10-96 Risk Assessment Guidelines, SEMI International.
〔22〕 賴瑞菊，風險可接受度探討，碩士論文，中壢，民國一百年。
〔23〕 陳薇雅，某TFT-LCD廠異常事故分析之研究，碩士論文，中壢，民國九十四年。
〔24〕 李豐良，黃冠霖，半導體製程前端安全品質探討研究，中華民國品質學會第42 屆年會暨第12 屆全國品質管理研討會
〔25〕 李豐良、黃冠霖，高科技產業前端原料供應風險探討，風險管理與決策研究學術研討會，桃園，民國九十五年。
〔26〕 王世煌，半導體製程風險評估，中國化學工程學會會刊，民國九十年。
〔27〕 黃清賢，危害分析與風險評估，三民書局，台北，民國八十九年。
〔28〕 葉宇光，事件樹於職業安全風險評估應用研究，碩士論文，中壢，民國九十八年。
〔29〕 行政院勞工委員會，風險評估技術指引，民國九十九年。