本論文之目的是在鈮酸鋰晶片上研製一平面式電光開關及相位調制器,電光開關的基 本原理是利用鈮酸鋰晶片強烈的電光效應,加偏壓改變折射率,以滿足全反射原理而 達成光之切換作用,相位調變器則是利用外加電場調變TE及TM光模態的相位差,也就 是改變光場的極化情形,然後再利用極化儀獲得光強度變化的訊息。 元件的製程包括鈦蒸鍍,光罩蝕刻,高溫擴散,晶片研磨,晶片包裝等過程,在論文 中皆有詳細的描述,另外也在實驗室建立了一套精密光學量測系統,包括有微位儀 ,鎖相放大器,極化儀,光電倍增管等。 在量測方面,較困難的技術是光場與晶片的藕合,本實驗室採用由微位儀組合的直接 藕合法,可以很容易地將光場導入及導出晶片而量得其特性。
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