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總目錄 摘要……………………………………………………………………………………I Abstract………………………………………………………………………………III 致謝…………………………………………………………………………………V 總目錄………………………………………………………………………………Ⅵ 圖目錄………………………………………………………………………………Ⅹ 第一章 緒論 1-1前言………………………………………………………………………………1 1-2研究動機與論文架構……………………………………………………………3 1-2.1 研究動機…………………………………………………………………3 1-2.2 論文架構…………………………………………………………………4 第二章 理論基礎與文獻回顧 2-1 硫化鋅一維奈米結構……………………………………………………………5 2.1.1 硫化鋅的基礎性質………………………………………………………5 2-1.2 一維硫化鋅奈米結構製程方法…………………………………………7 2-1.3 摻混雜質的硫化鋅一維奈米結構………………………………………13 2-2 硫化亞銅一維奈米結構………………………………………………………15 2-2.1 硫化亞銅的基礎性質……………………………………………………15 2-2.2 硫化亞銅一維奈米結構製程方法………………………………………15 2-3 鋅與氧化鋅核殼(core-shell)異質奈米結構……………………………………21 2-3.1 異質奈米結構之簡介……………………………………………………21 2-3.2 鋅與氧化鋅核殼(core-shell)異質奈米結構之製程方法………………22 2-4 螢光光譜(Photoluminescence, PL) ……………………………………………25 2-4.1 理論基礎…………………………………………………………………25 2-4.2 PL光譜儀架構…………………………………………………………26 2-5 陰極激發光譜(Cathodoluminescence) …………………………………………29 2-6 光催化性質(photocatalytic activity) …………………………………………32 2-7半導體材料載子傳導機制……………………………………………………35 2-7.1不同溫度下半導體載子傳導行為………………………………………37 2-7.2 金屬-絕緣體轉換(Metal-Insulator Transition)…………………………41 2-7.3 弱局域現象(Weak localization) …………………………………………43 第三章 實驗步驟與方法 3-1 奈米結構之成長………………………………………………………………44 3-1.1 硫化鋅奈米結構之成長…………………………………………………44 3-1.2 化學氣相沉積法(chemical vapor deposition,CVD)簡介………………46 3-1.3 硫化亞銅奈米結構之成長………………………………………………47 3-1.4 鋅與氧化鋅共軸奈米線之成長…………………………………………47 3-2 結構及成分分析………………………………………………………………49 3-2.1 掃描式電子顯微鏡(scanning electron microscopy) ……………………49 3-2.2 穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscopy,HRTEM) ……52 3-2.3 X光光電子能譜儀(X-ray Photoelectron Spectroscopy) …………………54 3-2.4 X光繞射分析儀(X-ray Diffraction)……………………………………54 3-3 光學性質分析…………………………………………………………………55 3-3.1 微觀拉曼光譜量測系統 (micro-Raman Spectrometer, μ-Raman) ……55 3-3.2 光致螢光激發光譜 (Photoluminescence, PL) …………………………56 3-3.3 光催化反應的量測………………………………………………………57 3-3.4紫外光/可見光吸收光譜儀 (UV/Visible absorption spectrumeter) ……57 3-4 電性分析………………………………………………………………………58 3-4.1以黃光微影蝕刻製程製作電極…………………………………………58 3-4.2 以雙粒子束聚焦式離子束製作電極……………………………………58 3-4.3 電性量測分析系統………………………………………………………60 第四章 結果與討論 4-1 硫化鋅一維奈米結構的成長及結構分析……………………………………61 4-1.1 未摻雜之硫化鋅一維奈米線的成長與結構分析………………………61 4-1.2 摻雜鎵之硫化鋅一維奈米結構的成長與結構分析……………………62 4-1.3 硫化鋅奈米線的成長機制探討…………………………………………63 4-1.4 結論………………………………………………………………………65 4-2 硫化鋅一維奈米結構的光電性質探討………………………………………75 4-2.1 硫化鋅一維奈米結構的光學性質研究…………………………………75 4-2.2硫化鋅一維奈米結構的光催化性質研究………………………………76 4-2.3 硫化鋅一維奈米結構之電性研究………………………………………77 4-2.4 結論………………………………………………………………………79 4-3 硫化銅之奈米結構的成長與分析……………………………………………87 4-3.1硫化亞銅之奈米線的成長與分析………………………………………87 4-3.2 硫化亞銅之多面體成長與分析…………………………………………89 4-3.3 硫化亞銅之光學性質研究………………………………………………90 4-3.4 結論………………………………………………………………………91 4-4 鋅與氧化鋅共軸奈米結構之成長與分析……………………………………102 4-4.1 鋅與氧化鋅共軸奈米線的成長與結構分析…………………………102 4-4.2 鋅與氧化鋅共軸奈米線的光學性質研究……………………………104 4-4.3 結論……………………………………………………………………105 第五章 結論 ……………………………………………………………………114 參考文獻……………………………………………………………………………116 著作…………………………………………………………………………………123
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