臺灣博碩士論文加值系統

有鑒於國內液晶顯示器陣列、彩色濾光片製程大面積光阻塗佈噴嘴之生產製造技術、供應市場皆為日本廠商所獨佔壟斷，使得光阻塗佈機之關鍵零組件光阻塗佈噴嘴(Slit Nozzle)價格居高不下，因此決定本論文之研究方向以光阻塗佈噴嘴(Slit Nozzle)國產化方式進行研究，此研究題目與國內廠商合作進行光阻塗佈噴嘴(Slit Nozzle)國產化製造開發，一方面可扶植國內精密加工機械產業之技術開發，另方面亦可使此關鍵零組件降低成本，由國內廠商自行設計、開發、製造、量產，而不受限於日本原廠製造技術、供應市場之獨佔與壟斷。本研究使用量產上之設備機台進行測試實驗(如：玻璃基板清洗機，光阻塗佈機，膜厚量測機，微觀檢測機，Mura檢測機…等)，來進行國產化與日本原廠之塗佈噴嘴之驗證比較，以期望得到與日本原廠最接近之研究結果，進而縮短量產與交期時間，並提升本公司之競爭力。此外本研究利用理論及有限元素法的分析求得有效的調整方式，能夠使光阻塗佈噴嘴之塗佈厚度有效收斂至規格內。其調整方式與實驗結果之比對與討論也在本研究論文中呈現。

Because Japanese suppliers have monopolized both the manufacturing technologies and supply chain for LCD array and color filter slit nozzles, the market prices of key coater machine components are consistently high. Therefore, the motivation of this thesis is to build partnerships with domestic vendors to research, develop, and increase the production capacity of key coater machine components. We estimate that this plan, once successfully implemented, will result in financial savings of NTD$300 million. To obtain the most approximate comparison results between domestic and Japanese imported slit nozzles, this study utilizes mass production equipment for testing and verification (i.e., Cleaner, Coater Machine, KLA, Small Macro Inspection, Mura Inspection… ). It is helpful for reducing production lead time and increase competition in the market. This study also presents an effective method to adjust thickness by using finite-element analysis and fluid mechanics theory. Experimental results are also presented and discussed.

目錄
摘要 I
ABSTRACT II
表目錄 VII
圖目錄 VIII
第一章 序論 1
1-1 前言 1
1-2 研究動機與目的 1
1-3 研究方法 2
第二章 文獻回顧 3
2-1 精密模具塗佈技術簡介 3
2-2 LCD狹縫式光阻塗佈 3
2-3 精密模具塗佈的研發情況 4
塗佈技術之種類 5
第三章 LCD面板結構與製程 7
3-1 何謂TFT LCD 7
3-2 TFT製程簡介 10
3-2-1 前言 10
3-2-2 Array Pixel之俯視及垂直結構 11
3-2-3 5PEP製作流程 13
3-3 TFT LCD製程介紹 16
3-4 TFT專有名詞介紹 17
第四章 光阻塗佈之要求特性與噴嘴介紹 18
4-1 LCD 光阻塗佈技術與發展趨勢 18
4-2 光阻塗佈噴嘴本公司應用區域 19
4-3 本公司各廠牌分佈情形 20
4-4 SLIT NOZZLE工作原理 22
4-5 光阻塗佈特性及規格定義 22
第五章 光阻塗佈實驗 25
5-1 實驗材料與測試對象 25
5-2 實驗設備 26
5-2-1 光阻塗佈機(Coater Machine) 26
5-2-2 膜厚量測機 27
5-2-3 Small Marco Machine 27
5-2-4 Mura檢測機 28
5-3 實驗規劃與流程 29
5-3-1 實驗規劃 29
5-3-2 實驗前準備 29
5-3-3 實驗方法 30
第六章 初步實驗結果分析與討論 31
6-1 實驗數據分析概述 31
6-2 原廠NOZZLE與國產化NOZZLE之分析比較 32
第七章 從理論以及有限元素法分析探討
如何調整螺絲達到均勻塗佈 34
7-1 概述 34
7-2 理論以及有限元素法分析 34
7-2-1 螺絲轉動角度以及其施加於模具正向力之關係 34
7-2-2 螺絲鎖固作用之正向力與模具變形量之關係 35
7-2-3 模具間隙以及塗佈厚度關係 40
7-2-4 螺絲旋轉角度以及塗佈厚度關係 42
第八章 後續實驗結果分析與討論 45
8-1 實驗數據分析概述 45
8-2 實驗結果 45
8-3 實驗結果探討 46
第九章 結論 48
9-1 結論 48
第十章 參考文獻 49

第十章 參考文獻
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