臺灣博碩士論文加值系統

在本篇論文中，我們對晶圓圖上的瑕疵圖樣提出一個量化之方法，並在A-chart上以NBD為橫軸，NCD為縱軸，探討瑕疵圖樣的分佈，此一分佈將呈現一個龍捲風圖(Tornado Chart)的分佈。之後再以固定增量的方式，既是先假設故障晶粒的個數，以倍增的方式，隨機灑出至晶圓上，將得到的晶圓瑕疵圖樣，重新在A-chart上模擬出相似的迴力棒圖，並探討與原來的迴力棒圖之間的關係，進而達到降低成本、提高良率的目的。

In this thesis, one method for the quantization of the defect pattern in
the wafer map has been proposed. By using NBD as x-axis and NCD as y-axis in A-chart, the distribution of defect pattern also has been investigated. And the obtained distribution is very similar to the Tornado Chart. The bad dice is disseminated to the wafer in the manner of double increase under the assumption of initial number of the bad die. And then, one defect pattern in the wafer map can be obtained by using this method of constant increase. By using the obtained defect pattern in the wafer map, a similar Tornado Chart can be simulated in the A-chart. By investigating and comparing the relationship between this simulated Tornado Chart and the original one also can achieve the goals of cost down and improving the yield rate.

中文摘要　…………………………………………………………. Ⅰ
英文摘要 …………………………………………………………. Ⅱ
誌謝 ………………………………………………………………. Ⅲ
目錄 ………………………………………………………………. Ⅳ
第一章 簡介 ……………………………………………………. 1
1-1 前言 …………………………………………….. 1
1-2 研究動機 ……………………………………….. 1
1-3 研究方法 ……………………………………….. 2
1-4 論文架構 ……………………………………….. 3
第二章 瑕疵圖（Defects Map）在晶圓上的分類 …………... 4
2-1 晶圓上的瑕疵圖樣之分類 ………………………. 4
2-2 系統性失誤的常見瑕疵圖樣的特徵及主因 ……. 5
2-2.1 晶圓瑕疵圖樣的特徵 …………………….. 5
2-2.2晶圓上的瑕疵圖樣形成的主因 …………... 7
第三章 龍捲風圖之量化 ……………………………………… 10
3-1 龍捲風圖的特徵參數及特徵符號之定義 ………. 10
3-1.1 特徵參數之定義 …………………………… 10
3-1.2 特徵符號之定義 …………………………… 11
3-2龍捲風圖的量化之描述方法 …………………….. 12
3-3龍捲風圖的量化之搜尋方法 …………………….. 13
3-4龍捲風圖的量化之範例說明 …………………….. 14
3-4.1 範例之說明 ………………………………… 15
第四章 龍捲風圖的產生 ……………………………………… 17
4-1 A-Chart的定義 ………………………………… 17
4-2 瑕疵圖樣在A-Chart中的分佈 …………………. 17
4-2.1 亂數產生器模擬之晶圓圖樣 ……………. 18
4-2.2 龍捲風圖的產生 …………………………. 22
第五章 龍捲風圖之模擬及分析 ……………………………… 26
5-1 平均瑕疵數λw ………………………………….. 26
5-2 龍捲風圖的模擬與分析 ………………………… 27
5-3 定量倍增法的龍捲風圖之模擬 ………………… 28
5-3.1 電腦模擬之步驟 …………………………. 29
5-3.2 電腦模擬之結果 …………………………. 30
5-4 新、舊龍捲風圖之比較 ………………………… 31
第六章 結論 …………………………………………………... 32
參考文獻 ………………………………………………………… 33

【１】古建維，晶圓圖上瑕疵圖樣之量化及其運用，中華大學電機　
工程學系研究所碩士論文，June 1977。
【２】黃美瑄，經由多方塊分解之晶圓產生器，中華大學電機工程
　　　 學系研究所碩士論文，July 2000。
【３】Jwu-E Chen, Mill-Jer Wang, Yen-Shung Chang, Shaw Cherng Shyu,
and Chien-Wei Ku,“ Error Classification by Wafer Map
Analysisi ”4th International Workshop on the Economics of Design,
Test Manufacturing。
【４】Jwu-E Chen, Mill-Jer Wang, Yen-Shung Chang, Shaw Cherng Shyu,
and Yung-Yuan Chen, “ Yield Improvement by Test Error
Cancellation ”, IEEE Proceedings of ATS