臺灣博碩士論文加值系統

PGME(丙二醇甲醚)為廣泛運用在液晶顯示器清洗光阻之光阻洗邊液(EBR)。水+丙二醇甲醚、甲醇+丙二醇甲醚這兩種雙成份系統是個可提供準確的雙成份汽液平衡的數據。實驗部份，使用一套具有視窗平衡裝置的靜態式相平衡量測裝置，其量取常壓下之汽液相平衡數據。對於水+丙二醇甲醚雙成份系統之汽液平衡在水莫耳分率0.83會形成一個共沸點。汽液平衡理論數據分別以NRTL與UNIQUAC活性係數模式關聯。雙成份汽液平衡系統之計算結果顯示，預估結果絕對偏差與實驗數據相當吻合，其與汽相組成汽相溫度之平均偏差分別小於1%與0.8 K。

PGME (propylene glycol monomethyl ether) is widely used as photoresist edge bead remover (EBR) in the liquid crystal display (LCD) manufacturing process. It is important to provide accurate vapor-liquid equilibrium data of binary water + PGME and methanol + PGME systems for the design of separation units.
In the experimental part, a static-type VLE meauurement apparatus was utilized at atmosphere pressure. For the water + PGME system, an azeotrope is formed at 83 mol% of water. The vapor-liquid equilibrium data were correlated by the NRTL and the UNIQUAC activity coefficient models. For both systems, the calculated results agree well with the experimental ones, with the mean deviation of vapor phase composition and bubble point temperature being less than 1% and 0.8K, respectively.

目錄

摘要 i
Abstract ii
誌謝 iii
目錄 iv
圖目錄 vi
圖表索引 ix
第一章 緒論 1
1-1 前言 1
第二章 文獻回顧 2
2-1相平衡 2
2-2 相平衡量測系統 5
2-2-1 靜態式(static type ) 5
2-2-2 半流動式(semi-flow type ) 6
2-2-3 流動式(folw type) 6
2-3 混合逸壓(fugacity) 7
2-4 汽液相平衡理論基礎 7
2-4-1純物質蒸氣壓 9
2-5 熱力學模式的建立 9
2-5-1 NRTL 9
2-5-2 UNIQUAC 10
2-6 氣相層析原理 12
2-6-1層析管 13
2-6-2 偵測器 13
2-6-3 積分器 14
第三章 實驗 15
3-1 藥品 15
3-2 設備 16
3-3 實驗裝置 19
3-4 汽液相平衡量測 21
3-4-1 汽液相平衡的量測步驟 21
3-4-2檢量線製作方法 21
3-4-3恆溫水槽溫度校正 22
3-4-4 汽液相平衡條件設定 22
3-4-5氣相層析儀參數設定 22
3-5汽液相平衡量測 23
第四章 理論說明 34
4-1活性係數計算模式 34
4-1-1 TK-Wilson活性係數模式 34
4-1-2 NRTL模式 35
4-1-2UNIQUAC模式 35
4-2理論模式之計算程序 36
4-3熱力學ㄧ致性測試 37
第五章 結論 48
參考文獻 49
附錄 53
作者簡介 57



圖表索引

【圖2-1】氣相層析儀構造示意圖…………………………………………………….12
【圖2-2】TCD的惠斯頓電橋裝置略圖........................................................................14
【圖3-1】汽液相平衡量測裝置圖…………………………………………………..20
【圖3-2】檢量線簡易流程圖………………………………………………………..21
【圖3-3】汽液相平衡量測之簡易流程圖...................................................................24
【圖3-4】水(1)-丙二醇甲醚(2)系統之GC檢量線……………………………………25
【圖3-5】甲醇(1)-丙二醇甲醚(2)系統之GC檢量線………………………………..26
【圖3-6】水(1)-丙二醇甲醚(2)系統常壓之T-X-Y圖………………………………27
【圖3-7】水(1)-丙二醇甲醚(2)系統常壓之T-X-Y關聯結果………………………28
【圖3-8】水(1)-丙二醇甲醚(2)系統在常壓汽液平衡之實驗�彿P文獻值之比較圖29
【圖3-9】甲醇(1)-丙二醇甲醚(2)系統常壓之T-X-Y圖……………………………30
【圖3-10】甲醇(1)-丙二醇甲醚(2)系統常壓之T-X-Y之關聯結果……………….31
【圖3-11】水(1)-丙二醇甲醚(2)系統常壓之 圖…………………………..32
【圖3-12】甲醇(1)-丙二醇甲醚(2)系統常壓之 圖………………………..33
【表4-1】水(1)+丙二醇甲醚(2)系統在常壓下之汽液平衡數據……………………41
【表4-2】甲醇(1)+丙二醇甲醚(2)系統在常壓下之汽液平衡數據………………….42
【表4-3】水-丙二醇甲醚系統與甲醇-丙二醇甲醚系統之最高與最低沸點溫度......43
【表4-4】Antoine equation constants………………………………………………….43
【表4-5】水(1)+丙二醇甲醚(2)系統在常壓下與NRTL模式迴歸汽液平衡數據..44
【表4-6】甲醇(1)+丙二醇甲醚(2)系統在常壓下與UNIQUAC模式迴歸之汽液平衡數據………………………………………………………………………45
【表4-7】水(1)+丙二醇甲醚(2)系統在常壓下汽液平衡偏差之結果……………..46
【表4-8】甲醇(1)+丙二醇甲醚(2)系統在常壓下汽液平衡偏差之結果…………..

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