本論文研究使用溶膠-凝膠被覆法於玻璃基板上被覆ITO薄膜。以無
水酒精作為溶劑，硝酸銦及氯化錫作為溶質，藉著改變浸鍍液的錫銦比、
熱處理的氣氛及溫度來探討這些實驗參數對ITO薄膜的結晶相、表面粗糙
度、可見光穿透率及片電阻之影響。 實驗結果
顯示：以500℃熱處理一小時，在真空加活性碳氣氛下熱處理的ITO薄膜品
質較佳，其原因可能是此氣氛的氧分壓較低。而熱處理溫度小於550℃時
，片電阻會隨著熱 處理的溫度上升而下降，其原因可能是隨著熱處理溫
度的上升，ITO薄膜會比較緻密，且錫 離子較有可能經由擴散進入氧化銦
的晶格中，進而取代銦離子，使膜的自由載子濃度升高，因而ITO薄膜的
片電阻會下降。在550℃以上，片電阻反而會隨溫度上升而增加，在650℃
熱 處理時，ITO薄膜和基板的附著性會變差，可能原因是在高溫下、還原
氣氛中，錫離子會被 還原成金屬錫所造成的。另外，錫銦重量比為0.08
時，可得到最低的片電阻，當錫銦重量比分別為0.12及0.16時，可能因為
錫含量的增加使得熱膨脹係數改變，因而破裂，導致ITO薄 膜成為不連續
膜，所以片電阻很高（超出測試範圍）。
被覆於Kimble玻璃上及Corning 7059玻璃上的ITO薄膜，經過相同的條件
熱處理後， 被覆於Kimble玻璃上的ITO薄膜之片電阻皆比被覆於Corning
7059玻璃上者為低。對於 Kimble玻璃而言，被覆錫銦重量比為0.08
的浸鍍液，以真空加活性碳氣氛，經550℃熱處理 一小時後，可以得到最
佳的ITO薄膜，其可見光穿透率為75﹪-90﹪，片電阻約為250Ω/□。而對
於Corning 7059玻璃而言，以同樣的條件亦可以得到最佳的ITO薄膜，其
可見光穿透率 為75﹪-90﹪，片電阻約為310Ω/□。
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