封面
目錄
第一章 緒論
1.1機體電路製程簡介
1.2圖像轉移工程
1.3旋轉塗佈
第二章 文獻回顧
2.1理論部份
2.2實驗部份
第三章 薄膜流動分析
3.1序言
3.2制御方程式推導
3.3速度分佈
3.4結果與討論
3.5結論
第四章 擬穩定狀態下在旋轉盤上薄膜的形成(i)極小雷諾數下的分析
4.1序言
4.2薄膜形成方程式推導
4.3不蒸發溶液的膜厚解析
4.4伴隨蒸發的膜厚解析
4.5結果與討論
4.6結論
第五章 擬穩定狀態下在旋轉盤上薄膜的形成(ii)任意小於1雷諾數的分析
5.1序言
5.2理論分析
5.3結果與討論
5.4結論
第六章 平坦轉盤上動態膜形成
6.1序言
6.2理論分析
6.3結果與討論
6.4結論
第七章 旋轉盤微凹凸表面上的動態薄膜形成
7.1序言
7.2理論分析
7.3結果與討論
7.4結論
第八章 旋轉塗佈實驗
8.1序言
8.2實驗設備與方法
8.3結果與討論
第九章 總結
符號說明
參考文獻
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