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研究生:黃耀輝
研究生(外文):Huang, Yaw Huei
論文名稱:高溫濕氧化對晶片內部微觀缺陷及其均勻性的影響
論文名稱(外文):The Effect of Wet Oxidation on the Micro-defects and their Radial Distribution in Cz Silicon Wafer
指導教授:貢中元貢中元引用關係
指導教授(外文):Kung Chung-Yuan
學位類別:碩士
校院名稱:國立中興大學
系所名稱:電機工程學系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:50
中文關鍵詞:微觀缺陷、溼氧化、孕核熱處理、氧凝聚物
外文關鍵詞:Micro-defcets、Wet Oxidation、Nucleation anneal、Oxygen precipitate
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