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本論文研究以等效電路模型法作一維及二維的元件和電路的混階模 擬(mixed-level simulation) o 所謂等效電路模型法,就是將傳統用來描 述元件載子傳輸的擴散模型(drift-diffusion model)轉換成等效電路模 型 o 如此一來, 元件模擬變成了電路模擬, 不但可用電路模擬器來做元 件模擬, 而且可以和一般電路結合, 形成混階模擬 o 首先, 我們先推導 一維的等效電路模型, 然後裝入我們自己的電路模擬器中, 並以二極體切 換電路為例子作混階模擬探討因少數載子儲存效應(minority-carrier- storage effect)所造成的延遲時間 o 接下來是二維模型的推導與應用, 這些應用包括了如歐姆性接點元件, 蕭基性接點元件以及SOS( semiconductor-oxide-semiconductor)和金氧半結構元件等的混階模擬 o 最後, 我們將此等效電路模型裝入HSPICE以證明此方法的可行性, 同時討 論其優缺點 o 此方法有助於我們更深入了解元件或製程參數對電路特性 的影響,以及元件在實際電路所造成的動態邊界條件(dynamic boundary conditions)下的特性變化 o
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