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研究生:黃仲謙
研究生(外文):HUANG, CHUNG-CHIEN
論文名稱:噴墨頭孔洞製程改善之研究
論文名稱(外文):The Study on the Improvement of Inkjet Hole Manufacturing Process
指導教授:張國平張國平引用關係
口試委員:李信宏呂鴻猷張國平
口試日期:2016-04-13
學位類別:碩士
校院名稱:明新科技大學
系所名稱:機械工程系精密機電工程碩士在職專班
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2016
畢業學年度:104
語文別:中文
論文頁數:23
中文關鍵詞:氧化鋁晶片噴穿時間噴穿壓力
外文關鍵詞:Alumina powderWaferInjecting timeInjecting pressure
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摘要

本文針對噴墨頭孔洞良率製程改善來進行研究,研究內容包括(1)原物料氧化鋁粉尺寸之影響(2)孔洞噴穿時壓力與時間之影響(3)砂材溫度與孔洞噴穿時間之影響,希望藉著以上實驗數據之分析結果,找出如何改善良率以及提生產量之方法。
經由本研究所獲得之結果如下:(1)原物料氧化鋁粉尺寸之影響: 經由實驗得知全面噴砂機採用的氧化鋁粉以#180為最佳尺寸。在自動噴砂機台直接噴穿時,則採用#400氧化鋁粉為最佳。(2) 孔洞噴穿時壓力與時間之影響:經由實驗得知為考慮生產效率,每個噴墨頭的噴穿時間以低於13秒為主,因此,經由噴砂壓力之探討,得知在 Comco壓力40psi狀態下生產之噴墨頭孔洞良率是符合要求的。(3) 砂材溫度與孔洞噴穿時間之影響: 新砂、一次回收砂在砂材溫度於40~120℃間,所需的噴穿時間變化不大,但由於本論文所使用的氧化鋁粉用於噴穿、噴深時,若溫度過低,將使氧化鋁粉對水的親和力增加,造成氧化鋁粉的黏度增加,會大大使噴穿時孔洞良率降低,因此必須在一定的溫度下進行乾燥。台灣平均溫度約76%、平均濕度約27%。一般機台使用氧化鋁粉吸水脫附率需保持在90%以上,採用80℃時,可符合此要求。另外,經由以上之製程研究可提升噴墨頭良率並且在相同操作時間內可增加4倍的產量。




關鍵詞:氧化鋁,晶片,噴穿時間、噴穿壓力

Abstract

This paper studies for inkjet head hole yielding process improvement, the content of studyis including 3 parts (1) Influence of raw material size for alumina powder (2) pressure and time effects of Holes injection process finished (3) Influence of temperature of alumina powder to hole forming time,this paper hopes the above obtained experimental results from data analysis to find ways to improve yields and production methods.
By the results obtained in this study were as follows:(1) Influence of raw material size for alumina powder: Through experiments, it is found that comprehensive blasting machine using alumina powder with #180 as the optimum size。When sprayed directly in automatic sandblasting machine wear, #400 aluminum oxide powder is used as the best(2) pressure and time effects of Holes injection process finished: Learned to consider production efficiency through experiments, each inkjet heads spraying time to less than 13 seconds, and,Therefore, through the study of blast pressure got, Comco pressures yield production of inkjet head holes in 40psi State is to meet the requirements (3) Influence of temperature of alumina powder to hole forming time: New sand, a reclaimed sand in sand temperature between 40 and 120℃ on spray time required not to change clearly。Through the above process,It can be enhanced the good efficient of inkjet head yielding process and it can be increased 4 times production of inkjet head under the same operating time.






Keywords:Alumina powder,Wafer,Injecting time、Injecting pressure

中文摘要
英文摘要
目錄
表目錄
圖目錄
第一章 緒論
1-1 前言
1-2 噴墨頭的發展史
1-3 噴墨頭的製程相關
第二章 噴砂孔洞機台設備介紹
2-1 精密噴砂機
2-2自動噴砂機與全面噴砂機
第三章 噴砂孔洞生產流程
3-1 製程所需之原物料簡介
3-2 使用精密噴砂機之生產流程
3-3 使用全面噴砂機之生產流程
3-4 使用自動噴砂機之生產流程
3-5 未改良前之生產流程
3-6 改良後之生產流程
第四章 實驗數據與結果
4-1原物料氧化鋁粉尺寸之影響
4-2孔洞噴穿時壓力與時間之影響
4-3砂材溫度與孔洞噴穿時間之影響
第五章 結論
5-1原物料氧化鋁粉尺寸之影響
5-2 孔洞噴穿時壓力與時間之影響
5-3砂材溫度與孔洞噴穿時間之影響
參考文獻

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【3】集塵機之圖片http://www.chaoshun.com.tw/chinese/02-CS100.asp
【4】全面噴砂Nozzle圖片http://www.chaoshun.com.tw/chinese/02-3-2.asp
【5】氧化鋁粉之圖片http://honwaygroup.com/?product=%E7%A0%94%E7%A3%A8%E7%94%A8%E6%B0%A7%E5%8C%96%E9%8B%81%E7%B2%89&post_type=product&name=%E7%A0%94%E7%A3%A8%E7%94%A8%E6%B0%A7%E5%8C%96%E9%8B%81%E7%B2%89&v=3d9975706be3
【6】氧化鋁粉顆粒尺寸大小file:///L:/%E5%B0%9A%E6%9F%8F%E5%99%B4%E7%A0%82%E6%A9%9F%E6%A2%B0%E6%9C%89%E9%99%90%E5%85%AC%E5%8F%B8.htm
【7】黃介一,具獨立可調變控制驅動波形之噴墨驅動系統設計,國立交通大學電機學院 電機與控制學程,碩士論文,2007。
【8】何坤霖,壓電式噴墨頭壓力源與噴嘴形狀最佳化設計,大同大學機械工程研究所,碩士論文,2009。
【9】台北相對溼度,中央氣象局,2016 年 四月。
【10】無錫普愛德環保科技有限公司,一種輪轉除濕的方法,2016年1月13日,CN105240961A。

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