臺灣博碩士論文加值系統

本文提出二種電容的積體電路佈局(Integrated Circuitlayout)方式，主要是針對在管線式類比/數位轉換器(pipeline ADC)上，將其分別應用在相同積體電路上以不同的佈局實現出來，加以對照比較。
金屬電容(Metal-insulator-Metal Capacitor)和側邊電容(Metal-between-Metal Parasitic Capacitor)應用在管線式類比/數位轉換器(pipeline ADC)上各有其優缺點，以製程上的考量，金屬電容需多一層光罩，側邊電容則不用；以電容精準度的考量，金屬電容較精準，但側邊電容以目前在管線式類比/數位轉換器(pipeline ADC)或是觸碰面板(touch panel)積體電路應用與實現上，不輸金屬電容。
本文提出之二種電容的積體電路應用與實現上在佈局方法及各方面的比較，對這二種電容在相同應用也能有相同的效果，使其在考慮製程成本時，能有較多的電容選擇。

This thesis proposes the method of two types of capacitor of Integrated Circuitlayout, and mainly focuses on pipeline ADC. In order to comparison between two types of capacitor, separately applying on the same Integrated Circuit and different kind of layout appearances as the result.
The two types of capacitor, Metal-insulator-Metal Capacitor and Metal-between-Metal Parasitic Capacitor, will occur the advantage and disadvantage for applying on the pipeline ADC. For the process of manufacturing measurement, Metal-insulator-Metal Capacitor needs one-mask to fulfill the process; however, it is not necessary for Metal-between-Metal Parasitic Capacitor. For the capacitor accuracy measurement, Metal-insulator-Metal Capacitor is accurate at pipeline ADC. And, Metal-between-Metal Parasitic Capacitor keeps the pace with Metal-insulator-Metal Capacitor on the application and accomplishment of Integrated Circuit of Pipeline ADC and Touch Panel.
The thesis proposes two types of capacitor applying on the application and accomplishment of Integrated Circuit and comparison with the method of layout and different points of the view. Those two types of capacitor can be used on same application and may have the same result. For the manufacturing cost consideration, there will be more choices of the capacitors.

摘要 i
Abstract ii
目次 iii
圖目錄 iv
第一章 簡介 1
第一節 前言 1
第二節 工具使用………………………………………………………………....1
第三節 架構簡述 2
第二章 電容器介紹 1
第一節 電容器原理 1
第二節 電容器的佈局 7
第三章 金屬和側邊電容介紹 10
第一節 金屬電容(Metal-insulator-Metal Capacitor) 10
第二節 側邊電容(Metal-between-Metal Parasitic Capacitor) 15
第三節 金屬電容和側邊電容的匹配(match) 19
第四章 金屬和側邊電容應用及比較 22
第一節 金屬電容和側邊電容應用在相同ADC(pipeline)佈局 22
第二節 金屬電容和側邊電容實現在產品上的比較 26
第五章 結論 29
參考文獻 31

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