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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳俊維
研究生(外文):Jiun-Wei Chen
論文名稱:多層薄膜應力分析及探討
論文名稱(外文):Stress Analysis and Discussion of Multi-Layer Thin Film
指導教授:王輝清
學位類別:碩士
校院名稱:國立中興大學
系所名稱:應用數學系所
學門:數學及統計學門
學類:數學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2007
畢業學年度:95
語文別:中文
論文頁數:43
中文關鍵詞:薄膜應力殘留應力曲率
外文關鍵詞:thin film stressresidual stresscurvature
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