臺灣博碩士論文加值系統

摘要
半導體產業中的微影製程，由於作業的特性須在黃光下進行，因此又稱黃光區。一些報告指出黃光區作業人員普遍覺得有視覺疲勞的問題。影響視覺疲勞的因素很多，根據相關的文獻探討指出黃光與顯微鏡作業可能是影響黃光區人員視覺疲勞的主要因素，因此本研究針對黃光與顯微鏡作業兩因素，來進行視覺疲勞研究。
結果顯示，黃光組與白光組在『眼睛疲勞』症狀方面，黃光組發生率有較白光組高的現象。其他視覺不適症狀部分以『眼睛酸澀』自訴率最高。黃光組作業人員有顯著較白光組人員感受到頭痛的發生。在主觀的視覺不適症狀部分，黃光組較白光組容易感受到視覺不適症狀的發生。黃光組作業人員在近點調節方面，於工作後顯著的增加，這表示黃光組作業人員於工作後較容易發生視覺疲勞。
顯微鏡作業人員在『眼睛疲勞』方面，工作後罹患率顯著較非顯微鏡作業人員高，工作後的感覺程度與發生率亦同。在其他視覺不適症狀部分以『眼睛酸澀』自訴率最高。過去一週持續到下班的症狀以『打哈欠』與『看東西有困難』顯微鏡作業人員每天發生較頻繁。在閃光融合閾值方面於工作後顯著的下降，顯微鏡作業人員較非顯微鏡作業人員下降的程度嚴重。在近點調節方面兩組作業人員於工作後皆顯著的下降，但顯微鏡作業人員較非顯微鏡作業人員有顯著的下降現象。這表示顯微鏡作業人員於工作後視覺疲勞的問題。
綜上所述：黃光區下之黃光本身是否會造成視覺疲勞，因本研究之樣本數不夠大，故無法進一步的推論，但由結果可知，黃光區作業人員的視覺疲勞問題，可能也與顯微鏡作業有關。因此致力於顯微鏡作業方面的改善將有助於視覺疲勞的降低。

Abstract
Because the photolithographic processing in semiconductor has to be done under yellow light, it’s also called lithographic area （yellow light district）. Some papers show that operators of lithographic area generally have the problem in visual fatigue. There are many factors causing visual fatigue; related researches point out the main reason for operators’ visual fatigue may be the yellow light and microscopic process. Therefore, this research is focused on these two aspects.
The results show that the subjective symptom of visual fatigue has higher incidence in yellow light than in the white light. As for other subjective symptoms, the “sore eyes” is the highest prevalence in yellow light and white light. The operators of yellow light have more statistically significance in「headaches」than those of white light. The subjective symptoms of visual strain have higher incidence in yellow light than in the white light. The near-point distance is significantly higher in yellow light than in the white light. It shows that the yellow light operators are apt to have the subjective symptom of visual fatigue problem.
In the aspect of the subjective symptom of visual fatigue, prevalence after work is significantly higher in microscopic processing than non-microscopic processing one, as well in the degree of severity and incidence. As for other subjective symptoms, the “sore eyes” is the highest prevalence in microscopic processing and non-microscopic processing. The frequency of “hard—to—see-things” and “dizziness” lasting after work in the past week is more frequent in microscopic processing every day. The critical flicker fusion is significantly lower in microscopic processing operators than in non-microscopic processing ones. The near point distance is on increase in yellow light and white light, but microscopic processing operators significantly increase in the near-point distance. It shows that the microscope operators have visual fatigue problems.
Above all, we can’t get the further inference whether the yellow light itself will cause visual fatigue due to the deficiency of the sample. However, we learn that the problem of the operators’ visual fatigue in the lithographic area may be related to microscopic processing as well. So, devoted to improving microscopic processing will be helpful for the operators to lower the occurrence of visual fatigue.

目錄I
圖目錄III
表目錄IV
致謝VI
摘要VII
AbstractIX
第一章 前言1
1.1 研究背景與動機1
1.2 研究目的3
第二章 文獻回顧4
2.1 疲勞定義4
2.2 黃光對視覺疲勞的影響4
2.3 顯微鏡作業對視覺疲勞的影響5
2.4 其他影響視覺疲勞因素6
2.5 視覺疲勞衡量指標之研究6
第三章 研究方法11
3.1 研究對象的選取11
3.2 環境測定項目12
3.2.1 環境物理條件之測定：12
3.3 視覺疲勞測定12
3.3.1 測定時點：12
3.3.2 視覺不適症狀：12
3.3.3 視覺疲勞生理測定13
3.4 人因工程測量14
3.4.1 人因工程介面量度表：14
3.4.2 人因工程介面的量測：14
3.5 統計分析14
第四章 結果與討論15
4.1 黃光組與白光組的結果與討論15
4.1.1 受測者與作業環境基本資料15
4.1.2 視覺不適症狀調查結果17
4.1.3 視覺疲勞生理測定結果19
4.1.4 白光組與黃光組之總結討論20
4.1.5 非酸洗作業白光組與黃光組測定結果與討論21
4.1.6 非酸洗與休息二次之白光組與黃光組測定結果與討論23
4.1.7 控制變項後之白光組與黃光組結果總結討論23
4.2 顯微鏡作業組與非顯微鏡作業組測定結果與討論25
4.2.1 受測者與作業環境基本資料25
4.2.2 視覺不適症狀調查結果26
4.2.3 視覺疲勞生理測定結果28
4.2.4 顯微鏡作業與非顯微鏡作業之總結討論30
4.2.4 五小時以上顯微鏡作業與非顯微鏡作業測定結果與討論30
4.2.5 控制顯微鏡操作時數因素之後顯微鏡作業與非顯微鏡作業結果總結討論32
第五章 結論與建議33
5.1 本研究的結論建議33
5.2 研究的限制34
5.3 後續研究方向建議35
參考文獻36
附件一 表附錄40
附件二 問卷調查表71

參考文獻
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