本文中我們報告了在動能為70、170和182電子伏特的電子照射下，從六氟
化硫分子固體表面脫附的正離子電子激發釋氣。在動能為70電子伏特的電
子照射下，我們觀測到價層電子激發釋氣的正離子產物為氟、硫與SF n(n
為一到五)的單價離子。在動能為170或182電子伏特的電子照射下，S(
2p)核層電子激發釋氣的正離子產物為氟、硫、SFn(n為一到五)的單價離
及硫的二價離子。價層電子激發釋氣主要是由70電子伏特的電子將六氟化
硫分子的價電子激發至未被佔據的軌道。經由MGR的脫附機制或KF模型之
歐傑衰減過程產生正離子脫附。核層電子激發釋氣主要是由170或182電子
伏特的電子將S(2P)能階的電子激發至6a1g或2t2g分子軌道，經由歐傑衰
減過程，形成多孔洞激發態而導致脫附。比較入射電子動能為70電子伏特
之六氟化硫氣體分子的電子激發解離性游離實驗，與六氟化硫分子固體之
電子激發釋氣實驗結果，我們認為分子固體表面的電子對於未解離前的激
態分子之遮蔽效應及對解離後產生的正離子之再中性化是導致兩個實驗差
異的主要因素。
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