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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳淑惠
研究生(外文):Chen, Shu Hui
論文名稱:無電鍍鎳凸塊及鎳粉的無電鍍銅
論文名稱(外文):Electroless Nickel Bumps and Electroless Copper Plating of Nickel powders
指導教授:李定粵
指導教授(外文):Lee, Ting Yueh
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:化學工程研究所
學門:工程學門
學類:化學工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1993
畢業學年度:82
語文別:中文
中文關鍵詞:無電鍍鎳無電鍍銅
外文關鍵詞:electroless Nickelelectroless Copper
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本研究範圍是先對矽晶片作好前處理, 再進行無電鍍鎳凸塊。凸塊之 以
大小均勻、位置精確為主,故用高精度之正光阻劑,以影像轉移方 圖形
並以均勻性佳之無電鍍鎳製成內應力小的凸塊,凸塊的高低與之厚度、鍍
的時間長短、鍍液之控制有關。關於鎳粉的無電鍍銅。在鎳粉無電鍍一層
薄薄的銅,目的是要利用鎳粉的磁性及薄層無電鍍銅的高導電率,將其攙
入膠後,再將此導電膠敷在已凸塊化的晶粒上,利用磁場聚集導電膠內的
金屬粉粒於凸塊處。當聚集的金屬粉粒愈多,則有助於提高導電膠之良率
及導電能力。此聚集金屬粉技術可應用在表面黏著元件與印刷電路板間接
合,而 COG技術可應用怕高讀犒q子產品如LCD 。單向導電膠的技術可製
造高密度電路板,促進半導升級。
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