臺灣博碩士論文加值系統

高科技廠房為配合複雜的晶片製造作業流程、潔淨室營運系統等需求，故其造價非同一般土木建築，在本論文中，我們將分別利用空間語法 (Space Syntax)，針對半導體廠潔淨室的空間及動線配置加以比較分析，並以國家奈米元件實驗室 (National Nano Device Laboratories，以下簡稱 NDL)，作為規劃的參考，期能降低營運衍生的費用。
分別利用空間語法(Space Syntax)進行便捷值與控制值的計算，以驗證現有空間使用之恰當否，其後進行迴歸分析來驗證現行潔淨室的最佳配置的可信度，並推估實驗空間空間不變，改變空間配置情況下來驗證的配置規劃與現行使用上來說是否達其便利性，即利用空間語法(Space Syntax)嘗試調整最佳化的空間配置與建議。
依據初步探討NDL 實驗室100、1000及10K等級之潔淨室及更衣室、空氣吹淋室等之空間配置顯示，潔淨室與使用者行為有相當之影響，本研究使用者行為又深受製造之作業流程牽制，故除透過本語法之型構分析驗證實驗空間是否最佳化的配置，並建議修改部分配置且求得結果將更具便利性，以利未來潔淨室空間調整或新增機台之建議。亦可便給予未來規劃實驗室的依據與現行高科技廠房套用方式與建議。

The building cost of hi-tech factory is expensive because of its complicated chip manufacture workflow, clean room management system and other related requirements. In this paper, we analyzed the motion trend and space allocation of hi-tech factory by space syntax, and evaluate the methodology by applying to National Nano Device Laboratories (NDL), and expect to reduce the operating expense.
By using space syntax to figure out Integration Value and Control Value and to evaluate if space allocation is proper, then using regression analyze to verify the optimization credibility of clean-room allocation; then the convenience of space allocation is evaluated by optimizing by space syntax.
According to the prior survey of 100-, 1000- and 10K-level clean room, dressing room, air-shower room... the evaluation result shows the user behavior affects space allocation significantly. However user behavior in NDL is affected a lot by manufacture workflow, the optimization of space allocation can be only used as suggestion to NDL for future relocation of devices and spaces to ensure convenience.

目 錄
中文摘要 I
英文摘要 II
致 謝 III
目 錄 IV
圖目錄 VI
表目錄 VII
第一章 緒論 1
1.1研究動機 1
1.2研究目的 1
1.3研究範圍 2
1.4研究方法及流程 2
1.5研究架構 4
第二章 文獻回顧 5
2.1 空間語法 (SPACE SYNTAX) 5
2.2 工地配置理論 13
2.3 路徑規劃理論 14
2.4 空間排程理論 14
2.5 空間衝突理論 15
2.6 設施規劃方法 15
第三章 半導體潔淨室之空間及動線規劃 17
3.1 高科技廠務系統 17
3.2 高科技廠房潔淨室 19
3.3 半導體製作流程 21
3.4 潔淨室設計規劃 23
3.5 小結 26
第四章 國家奈米元件實驗室之空間及動線規劃 30
4.1 國家奈米元件實驗室建廠規劃 30
4.2 建廠潔淨室設計規劃 31
4.3 潔淨室單元空間構型分析 32
4.4 潔淨室單元動線構型分析 47
4.5 小結 48
第五章 結論與建議 52
5.1結論 52
5.2後續研究建議 54
參考文獻 55
附錄 58

【國外文獻】
1.Akinci, B. and Fischer, M “Time-space conflict analysis based on 4D production models.”Proceeding of Computing in Civil Engineering, ASCE, pp.342-353. ,（1998a）
2.Akinci, B., Fischer, M. and Zabelle, T. ”Proactive approach for reducing non-value adding activities due to time-space conflicts.”Proceeding of the 6th Ann. Conference Lean Construction, Guaruja, Brazil, August. ,（1998b）.
3.Akinci, B., Fischer, M., Kunz, J. Levitt, R.“Formalization and Automation of Time-Space Conflict Analysis”CIFE working paper 58, Stanford University. ,（2000）.
4.Hillier, B. & J. Hanson. The Social Logic of Space, Cambridge University Press, Cambridge. ,(1984).
5.Hillier, B. Space is the Machine: a configurational theory of architecture, Cambridge University Press, Cambridge., (1996)
6.Riley, D.R. and Sanvido, V.E.“Space planning method for multistory building construction”,Journal of Construction Engineering and Management, ASCE, 123(2), 464-473., (1997) .
7.Thabet, W.Y. and Beliveau, Y.J. “SCaRC: Space-constrained resource- constrained scheduling system.”Journal of Computing in Civil Engineering, ASCE, 11(1), 48-59., (1997).
8.Tommelein, I., Dzeng, R., and Zouein, P.“Exchanging layut and schedule data in a real-time distributed environment.”5th Int. Conf. on Computing in Civil and Building Engineering, ASCE, New York, 947–954. , (1993).

【國內文獻】
1.古美玉，「應用模擬退火法於背脊式設施佈置之研究－以半導體晶圓廠為例」，私立元智大學碩士論文（1999）
2.仲闓立，「以Space Syntax(空間語法)分析施工要徑空間特性之研究」，國立臺灣大學土木工程學研究所碩士論文（2006）
3.李名修，「以空間語法整合地理資訊系統建構最適防救災之選擇模式－以新竹市為例」，國立交通大學土木工程學系（2007）
4.林家群，「施工作業空間衝突下之工班間等待行為造成之生產力折減程度」，國立台灣大學土木工程學研究所碩士論文（2003）
5.馬榮華，奈米半導體級廠務科技與管理，揚智文化（2004）
6.國家奈米元件實驗室（簡稱NDL）：「門禁磁卡刷卡記錄」（2007）
7.國家奈米元件實驗室（簡稱NDL）廠務營運資料、講義（2007）
8.國家豪微米元件實驗室（簡稱NDL）新建工程「工作執行計畫書」（2002）
9.陳正德，「整合Space Syntax 與GIS 於建構都市模型上之運用」
10.陳建文，沙永傑：「設施規劃問題文獻探討與分析」，工業工程學刊，第一期（2001）
11.彭國銘，「晶圓製造廠設施規劃改善之研究」，私立中原大學碩士論文（2001）
12.湯瑪斯，「認識潔淨室設計與建造」Facility Planning & Resources公司內部講義
13.黃慶輝，「空間構成理論導論：以辦公室之空間型構為例」，國立交通大學建築研究所（2005）
14.廖心如，以空間構成理論探討烏日鄉高鐵特定區開發前後都市空間型態之變遷
15.戴瑞德，「晶圓製造廠系統化設施規劃」，中原大學工業工程學系碩士學位論文（2002）
16.聯華電子網頁http://www.umc.com.tw/chinese/class_300/index.asp（2006）
17.顏登通，高科技廠務，全華科技圖書股份有公司（2005）
18.蘇智鋒，「空間型態之內在組構邏輯Space Syntax（空間型構法則分析）之介紹」， 建築向度－設計與理論創刊號（1999）
19.蘇智鋒，「空間型構基因導論-Space Syntax（空間型構法則分析）之運用」，逢甲大學建築系（2002）
20.蘇智鋒，「博物館空間組構邏輯探討－以國立自然科學博物館與國立科學工藝博物館為例」，逢甲大學建築及都市計畫研究所碩士班碩士論文（2004）