臺灣博碩士論文加值系統

本研究針對晶圓針測製程中所使用的環氧樹脂式探針卡之探針，設計空間五連桿五接頭之探針研磨機，其中包含有三組滑動運動對、一組旋轉運動對和一組雙自由度滑動運動對，研磨探針的砂紙是安裝在圓盤上做等速旋轉運動；兩百隻探針夾持在主要由線性滑軌與滾珠導螺桿組成之定位與進給機構上，線性滑軌與滾珠導螺桿兩者皆具有高精度、低磨耗與低噪音等特性，故可以提高磨針的精度與良率；因夾持數量遠高於傳統手工磨針所能夾持的數量，故可以提高磨針的產量。
本研究先搜集相關專利文獻，並依特性將專利文獻分類與分析，在根據設計條件設計出較佳之機構型態，並利用電腦輔助設計軟體建立3D模型以及模擬機構動作行為、組裝性與干涉檢察，最後使用電腦輔助分析軟體分析驗證本研究機構之可行性。

This study use five link five joint spatial mechanisms, include three prismatic pairs, one revolute pair with one degree of freedom and one prismatic pair with two degrees of freedom, to design probe grinder machine employed in epoxy probe card processes. Epoxy probe card is used in wafer probe processes. The mechanism features a grinding disk with constant rotary motion. Two hundred probes are clamped in the position and feeding mechanisms that are composed of a linear guideway and screw. Linear guideway and ball screws both feature high precision, low wear and noise characteristics, thus improving the precision of the grinding and yield. The high number of clamped probes featured is significantly higher than employed in traditional grinding mechanisms, so as to improve grinding production and yield.

The study began with a collection of all the relevant patents. These patents were classified according to mechanical characteristics. Computer-aided design software was used to develop a 3D model of the mechanism designs by design conditions. Computer-aided engineering software was employed to analyze model assembly and interference to determine the overall feasibility of the mechanism.

摘 要 i
ABSTRACT ii
誌 謝 iii
目 錄 iv
圖目錄 vi
表目錄 viii
第一章 緒 論 1
1.1 前言 2
1.2 研究動機與目的 3
1.3 研究方向與整體架構分析之流程圖 4
第二章 專利分析與文獻回顧 6
2.1 專利分析 6
2.1.1 旋轉式研磨 6
2.1.2 直線式研磨 8
2.2 文獻回顧 9
第三章 探針研磨機之設計 10
3.1 探針研磨機之設計條件 10
3.2 探針研磨機之機構簡圖 10
3.3 探針研磨機之架構 11
3.3.1 定位與進給機構之設計 12
3.3.2 探針夾持與研磨機構之設計 17
3.3.3 工作桌之設計 21
3.3.4 檢測機構之設計 22
3.4 探針研磨機之3D模型建立 23
第四章 探針研磨機之動作模擬與應力分析 24
4.1 探針研磨機之動作模擬 24
4.2 探針研磨機之穩態應力分析 27
4.2.1 前處理 28
4.2.3 後處理 30
第五章 研究成果與建議 33
5.1 研究成果 33
5.2 建議與未來展望 34
參考文獻 35
作者簡介 36

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