封面
目錄
第一章 緒論
第二章 技術背景
2-1 現況回顧
2-2 X光光罩技術
第三章 動機與目的
第四章 實驗程序
4-1 鎢膜沈積
4-2 離子植入
4-3 真空退火與保存於空氣中
4-4 鎢膜應力量測
4-5 鎢膜特性分析
4-6 構體移轉
第五章 光罩熱效應之有限元素分析
5-1 主導公式
5-2 假設與計算
第六章 結果與討論
6-1 鎢膜之含矽量與晶相
6-2 鎢膜應力調整
6-3 鎢膜密度與厚度均勻性
6-4 鎢吸收膜構體製作
6-5 鎢膜之耐熱性
6-6 鎢膜之長期穩定性
6-7 離子植入鎢膜之應力穩定機構
6-8 X光光罩之熱彈性反應
第七章 結論
參考文獻
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