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研究生:

盧春林

研究生(外文):

Lu, Chun-Lin

論文名稱:

以電漿腐刻在鈮酸鋰上製造積體光學研究

指導教授:

李崇仁

指導教授(外文):

Li, Chong-Ren

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立交通大學

系所名稱:

電子研究所

學門:

工程學門

學類:

電資工程學類

論文種類:

學術論文

畢業學年度:

語文別:

中文

中文關鍵詞:

電漿腐刻、鈮酸鋰、積體光學、電子工程

外文關鍵詞:

ELECTRONIC-ENGINEERING

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本論文研究電漿腐刻在鈮酸鋰上的應用。實驗結果顯示，電漿腐刻在腐刻鈮酸鋰以製
造非平面式積體光學元件方面是很有潛力的。兩個實用的積體光學元件，亦即脊形波
導兩進兩出光線開關和多週期光柵透鏡即利用此種技術製造。實驗結果顯示這兩個元
件的特性可以比美於甚或優於鈦擴散型平面式波導。

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