臺灣博碩士論文加值系統

　　未經鍍膜處理的光學系統，因界面反射的緣故，致最後的穿透光所剩不多，為了克服這種可謂黯淡無光的問題，於是需要抗反射膜（Anti-Reflection Coating）， 經過ARC處理的光學系統，不但可以提高穿透率，同時也大大減少光在元件間連續反射的量，使影像明晰度增加。

　　本論文以溶膠凝膠法製做具有MFI結構的純二氧化矽沸石溶膠（Silicalite-1），再以旋轉塗佈鍍膜機在光學玻璃基板上鍍製單層膜，由於此膜的多孔結構，可以具有比一般二氧化矽材料還要低的折射率，可以用來製作抗反射膜。

我們改變不同的實驗參數，來製作對應不同中心波長的抗反射膜，並以掃描式電子顯微鏡觀察其表面結構、以接觸角儀測量其親水性程度，並加以分析比較。

　　Since the reflection of the boundary , the transparency of the optical system that not been coated will lower . In order to solve the problem , we need ARC（Anti-Reflection Coating）. The optical system that been coated with Anti-Reflection film not only can enhance the transparency but also can reduce the consecutive reflection between optical devices , it can make the image clearer .

　　In this master thesis , we manufacture Silicalite-1 sol which has MFI structure of zeolite through Sol-Gel method . We can get a single layer thin film coated on optical glass substrate by operating spin-coater . Due to the microporous structure of the film , its refractive index will lower than normal silicate film without porous structure , and therefore we can make anti-reflection films that have higher transparency .

　　We manufacture anti-reflection films corresponding different central wavelength by altering experiment , then observe surface structure with field emission scanning electron microscope , gauge the character of hydrophile with contact amgle instrument.

英文摘要………………………………………………………………I
中文摘要………………………………………………………………II
致謝辭…………………………………………………………………III
圖目錄…………………………………………………………………VII
表目錄…………………………………………………………………XI
第一章 緒論 …………………………………………………………1
1-1前言 ……………………………………………………………2
1-2沸石簡介 ………………………………………………………3
1-3 MFI沸石 ………………………………………………………5
第二章　基本理論……………………………………………………7
2-1抗反射膜 ………………………………………………………7
　2-2酸蝕法………………………………………………………….10
　2-3旋轉塗佈法……………………………………………………..11
2-4溶膠凝膠法…………………………………………………….12
第三章　沸石膜製作方法文獻回顧…………………………………13
3-1沸石膜之製作方法與相關文獻………………………………..13
3-2直接含浸水熱法……………………………………………….14
　3-3 二次成長法……………………………………………………17
3-4 氣相轉化法……………………………………………………21
3-5 研究方向………………………………………………………23
第四章 實驗結果與討論 …………………………………………24
4-1 MFI沸石前趨物溶膠之製備…………………………………24
4-2基材處裡及鍍膜流程…………………………………………26
4-3以掃描式電子顯微鏡分析MFI沸石膜性質…………………28
4-3-1 煅燒後的SEM圖 ………………………………………30
4-3-2 浸泡鹽酸酒精溶液後的SEM圖 ………………………34
4-3-2-1 轉速對沸石膜的影響………………………………35
4-3-2-2 浸泡濃度對沸石膜的影響…………………………45
　　4-3-2-3 浸泡時間以及旋鍍後乾燥時間對沸石膜的影響…49
4-4 以接觸角儀分析MFI沸石膜性質 …………………………54
4-4-1 剛以Spin Coater旋鍍溶膠溶液後的接觸角 …………57
4-4-2 浸泡稀鹽酸酒精溶液正面的接觸角比較 ……………59
4-4-2-1 轉速對接觸角的影響 ……………………………59
4-4-2-2 浸泡濃度對接觸角的影響 ………………………60
　　4-4-2-3 浸泡時間以及旋鍍後乾燥時間對接觸角的影響...61
4-4-3 浸泡稀鹽酸酒精溶液背面的接觸角比較……………62
4-5 以光譜儀分析MFI沸石膜性質……………………………64
　 4-5-1 煅燒的穿透光譜圖比較……………………………… 65
4-5-2 浸泡鹽酸酒精溶液後的穿透光譜圖比較……………75
4-5-2-1 轉速對穿透光譜的比較…………………………76
4-5-2-2 改變浸泡濃度、浸泡時間的穿透光譜圖比較…79
第五章　結論………………………………………………………83
參考資料……………………………………………………………85

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