臺灣博碩士論文加值系統

本論文分析半導體廠鋼瓶更換電子化管理系統建置過程，首先了解廠務工程師及現場操作人員的需求，建置電子化管理系統平台，探討如何設計適合操作人員使用的鋼瓶更換作業檢核表，分析紙本轉移電子化會遇到的問題，用經驗及設置規劃用於新建廠施工設計之參考依據，整合不同時期氣櫃，將紙本鋼瓶作業檢核表，完整建置於PDA(Personal Digital Assistant)系統內，透過無線網路取得氣櫃各項數據，取代人員記錄、判斷、計算、比對，超出設定值，結合簡訊系統，即時通知工程師到場處理，有效減少人為判斷的失誤，降低半導體廠氣體更換作業的風險。
使用FMEA(Failure Mode and Effects Analysis)失效模式與效應分析法，驗證電子化鋼瓶更換作業檢核表，是否有效達到管理鋼瓶更換作業流程，降低操作人員更換鋼瓶時的危害風險，保障操作人員的安全。

In semiconductor foundry, the management of gas-supply system is extreme significant for factory-related members. In order to prevent and decline the possibility of human error and misjudgment while exchanging gases cylinders, a comprehensive and strict standard of process should be established and followed.
In this study, an electronic management system of a semiconductor manufacturing foundry is illustrated. Firstly, we have to realize the needs for factory engineers and field operators, and then decided or modify the electronic management system. Second, we need to investigate how to design suitable and feasible check list of gases cylinder exchanging and analyze the potential issues of transforming paper-based documents into electronics database. Furthermore, we can integrate all gas cabinets of distinct ages and link to PDA(Personal Digital Assistant) through Wi-Fi by utilizing prior layout, allocation, and construction experiences for establishing new foundry or factory.
By establishing this electronic system, the possibility of human error, misjudgment, and miss-operation can be avoided and reduced, besides, related engineers can be informed immediately while suffering from emergency.
By using Failure Mode and Effects Analysis , we can verify and check if electronic check list is effective for operators for the procedure of replacing gases cylinder .Also, the risk and exclusion can be managed and controlled and ensure the safety of the operators.

中文摘要 ……………………………………………………………………………………………………………III
英文摘要 ……………………………………………………………………………………………………………IV
誌謝 ………………………………………………………………………………………………………………………VI
目錄 ……………………………………………………………………………………………………………………VII
表目錄 …………………………………………………………………………………………………………………IX
圖目錄 ……………………………………………………………………………………………………………………X
符號與簡寫 ………………………………………………………………………………………………………XII
第一章 緒論……………………………………………………………………………………………………………1
1.1 研究背景及動機…………………………………………………………………………………………1
1.2 研究目的………………………………………………………………………………………………………2
1.3 研究步驟與流程…………………………………………………………………………………………3
1.4 研究方法與範圍…………………………………………………………………………………………4
第二章 文獻探討…………………………………………………………………………………………………5
2.1 氣體供應系統介紹……………………………………………………………………………………5
2.1.1 壓縮乾燥空氣(Clean Dry Air)…………………………………………………5
2.1.2 大宗氣體(Bulk Gas)供應………………………………………………………………6
2.1.3 地下管路……………………………………………………………………………………………………6
2.1.4 槽車(Tube Trailer)………………………………………………………………………6
2.1.5 儲槽(Tank)……………………………………………………………………………………………7
2.1.6 特殊氣體(Specialty Gas)…………………………………………………………7
2.2 歷年人為疏忽案例…………………………………………………………………………………14
第三章 現況描述………………………………………………………………………………………………15
3.1 系統軟、硬體之需求……………………………………………………………………………15
3.2 硬體架構……………………………………………………………………………………………………15
3.3 現有紙本鋼瓶更換作業檢核表…………………………………………………………17
3.4 重新制定紙本鋼瓶作業檢核表設計探討……………………………………18
3.4.1 獨立性…………………………………………………………………………………………………18
3.4.2 文字淺顯易懂……………………………………………………………………………………18
3.4.3 無相關步驟省略………………………………………………………………………………19
3.4.4 文字內容，不能倒裝句…………………………………………………………………19
3.4.5 標示清楚………………………………………………………………………………………………20
3.4.6 步驟詳盡………………………………………………………………………………………………20
3.5 紙本描述與電子化的差異…………………………………………………………………21
3.6 紙本鋼瓶作業檢核表轉換電子化版本…………………………………………21
3.6.1 無痛轉移………………………………………………………………………………………………21
3.6.2 自動比對………………………………………………………………………………………………21
3.6.3 Web查詢…………………………………………………………………………………………………21
3.6.4 條碼管控………………………………………………………………………………………………22
3.6.5 完全電子化…………………………………………………………………………………………22
3.6.6 管控手動輸入……………………………………………………………………………………22
3.6.7 自行新增參數……………………………………………………………………………………22
3.6.8 結合call out系統…………………………………………………………………………22
3.7 GAS PDA 介紹…………………………………………………………………………………………23
3.8 GAS SYSTEM web 介紹………………………………………………………………………25
第四章 FMEA建置及成效評估分析 …………………………………………………………29
4.1 FMEA建置……………………………………………………………………………………………………29
4.1.1 成立FMEA執行小組……………………………………………………………………………29
4.1.2 界定系統分析之範圍………………………………………………………………………29
4.1.3 實施FMEA作業訓練……………………………………………………………………………29
4.1.4 設計FMEA………………………………………………………………………………………………29
4.1.5 分析系統失效模式之嚴重度…………………………………………………………32
4.1.6 分析系統失效模式之發生率…………………………………………………………33
4.1.7 分析系統失效模式之難檢度…………………………………………………………34
4.1.8 定義系統失效模式之風險優先指數……………………………………………35
4.1.9 完成FMEA分析表…………………………………………………………………………………35
4.2 FMEA分析結果……………………………………………………………………………………………36
4.2.1 改善前後，失效模式嚴重度分析…………………………………………………36
4.2.2 改善前後，失效模式發生率分析…………………………………………………37
4.2.3 改善前後，失效模式難檢度分析…………………………………………………38
4.2.4 改善前後，失效模式風險優先處理指數RPN分析…………………40
4.3 效益…………………………………………………………………………………………………………………41
第五章 結論與建議……………………………………………………………………………………………42
5.1 研究結論………………………………………………………………………………………………………42
5.2 建議…………………………………………………………………………………………………………………44
參考文獻 ………………………………………………………………………………………………………………45
附件一 電子化前後鋼瓶更換作業檢核表流程FMEA分析…………………46

[1]高壓氣體勞工安全規則
[2]Frederick Winslow Taylor，The Principles of Scientific Management ，1911年。
[3]吳婉如，張玲華，「應用檢驗條碼科技於病人安全的經驗分享及成效初探」，2012年6月，領導護理第十三卷第二期
[4] Auto guard and Bar code integration system，彭建國，102年度科學工業園區優良環境保護專責人員。
[5]陳清庭，「氯氣氣瓶櫃洩漏危害分析與改善研究」，國立交通大學，碩士論文，民國95年。
[6]張榮哲，「FMEA應用於降低廠務監控系統運轉風險之探討-以半導體廠氣體化學系統為例」，國立交通大學，碩士論文，民國96年。
[7]王嘉麟，「運用失效模式與影響分析評估矽甲烷供應系統之安全性-以TFT-LCD廠為例」，國立交通大學，碩士論文，民國95年。
[8]R.S. Bridger，人因工程 INTRODUCTION TO ERGONOMICS 3/e，初版，趙金榮等譯，高立，新北市五股工業區，民國九十九年十二月
[9]張邱坤，「半導體廠附屬設備管路區環境監測改善研究-以CVD區為例」，國立交通大學，碩士論文，民國99年。
[10]孫軍華，「SOP在物流配送中心中應用的探討」，商場現代化，2009
[11]江國安，「廠務外包作業管理及安全危害分析-以晶圓廠企劃供應系統外包為例」，國立交通大學，碩士論文，民國101年。
[12]劉鴻世、曾淑春、黃志強、徐希慶「矽甲烷(SiH4)氣瓶櫃操作人為失誤之分析」
[13]蕭全佑，「智慧型安全防災監控系統(LMS)-以緊急應變中心(ERC)應用為例」，國立交通大學，碩士論文，民國97年。
[14]葉嘉恆，「某半導體廠承攬商管理之廢棄物清運作業安全研究」，國立交通大學，碩士論文，民國103年。
[15]林瑞玉，「矽甲烷供應系統相關製程危害分析資料庫建置與應用研究」，國立交通大學，碩士論文，民國92年。
[16]人因工程完全手冊，1998，中華民國職業醫學會譯，台視文化公司。