臺灣博碩士論文加值系統

TFT-LCD產業隨玻璃基板尺寸增大，生產過程中使用大量的原物料及化學品，使得生產製造過程產生的廢棄物亦隨之增加。因此，如何降低化學品耗用量，已成為各製造廠關切的問題。目前各種化學品回收系統已逐漸應用於TFT-LCD產業，其中，去光阻液(Stripper,又稱為剝離液)為TFT-LCD廠前段製程中使用量最高之化學品，單價極高，而經製程使用後之廢去光阻液僅含少量不純物，極具回收純化價值。
本研究內容主要為探討影響去光阻液回收系統薄膜蒸發器單元效能的主要因子，依據文獻選用進料量、蒸氣壓力、轉速，作為田口方法的控制因子，並以薄膜蒸發器蒸發率作為品質特性，應用田口法直交表規劃實驗，得到蒸氣壓力與轉數為影響效能之最重要因子與其最佳操
作條件，進而作為工廠實際操作上系統參數調整之指標。

The rapid development of TFT-LCD industry makes its panels larger and larger turn, and uses many chemicals and materials which in produces more waste. Therefore, reducing the use of chemicals and their waste becomes a major issue. The consumption of stripper (also called the stripped liquid) is the largest in the array process of TFT-LCD. Its price is extremely high and yet it only includes a small amount of impurity after using and deserves reuse.
The purpose of this research is to find out the major controlling factors for the efficiency of the thin film distiller of the stripper recycle system (SRS).By Taguchi Method the optimal operating conditions for SRS are obtained. The results show that the feed flow rate, steam pressure and the rotational speed are the controlling factors for the efficient recycling of stripper.

摘要
Abstract
誌謝
目錄 ..................................................... ................................................... i
表目錄.......................................................................... ........... ................iv
圖目錄.................................................................... ........... .......................v
符號表................................................. ........... ........................................vii
第一章 前言............................................................................................1
1-1 TFT-LCD產業說明..................................................................1
1-2 TFT-LCD製程概述..................................................................5
1-2-1 Array製程...................................................................6
1-2-2 Cell製程......................................................................7
1-2-3 Module製程................................................................8
1-3 TFT-LCD 產業SRS概況…........................................................9
1-4 研究動機與目的.....................................................................11
1-5 文獻回顧.................................................................................12
第二章 理論基礎..................................................................................14
2-1 光阻剝離程序........................................................................14
2-2 蒸發及蒸餾原理介紹............................................................15
2-2-1 蒸發原理....................................................................15
2-2-2 蒸餾原理...................................................................16
2-2-3 氣液平衡關係...........................................................19
2-3 薄膜蒸發器原理.....................................................…………21
2-4 田口方法.............................……….......................................23
第三章 系統簡介與實驗方法流程.....................................................29
3-1 去光阻液回收及供應流程....................................................29
3-2 去光阻液回收系統簡介........................................................30
3-3 薄膜蒸發器介紹 ............................................................31
3-4 田口方法研究流程................................................................34
3-4-1 因子水準設定...........................................................35
3-4-2 直交表的選用...........................................................38
3-4-3 實驗的執行與紀錄...................................................39
3-4-4 確認實驗...................................................................39
第四章 實驗結果與討論.....................................................................42
4-1 田口實驗結果........................................................................43
4-2 確認實驗................................................................................47
4-3 效益分析及驗證....................................................................50
第五章 結論與未來展望......…...........................................................51
參考文獻..................................................................................................52

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