臺灣博碩士論文加值系統

本論文以Twyman-Green干涉儀為基礎，提出以使用電光調制器的相移法於物體表面形貌之研究。在架構上，以偏極光束通過改良式Twyman-Green干涉儀以形成干涉條紋，由CCD相機擷取干涉圖形。並且經由電光調制器調制相位與Carré相移技術後，分析干涉條紋之強度以獲得待測物的相位分佈，再將待測物的相位分佈代入到所推導的方程式中，即可還原出物體之三維表面形貌。在實驗上，以已知規格的塊規來驗證此方法之可行性，實驗結果與理論值之間有良好的對應性。由於使用電光調制器進行相移，因此具有快速量測、誤差低的優點，而合成波長技術可以使測量範圍擴大到公分尺度。且本方法亦有架構簡單、易組裝與操作、非破壞性以及高靈敏度等優點。

摘 要 i
Abstract ii
誌 謝 iii
目 錄 iv
圖目錄 vii
表目錄 ix
第一章 緒論 1
1.1 研究動機 1
1.2 本文架構 4
第二章 文獻回顧 5
2.1 前言 5
2.2 表面形貌測量方法介紹 5
2.2.1 光探針掃描方法 5
2.2.2 疊紋法 12
2.2.3外差干涉術 14
2.2.4白光干涉術 16
2.2.5 相移干涉術 8
2.3 小結 17
第三章 表面形貌量測之相關理論 20
3.1 前言 20
3.2干涉術原理 20
3.3相移干涉術原理 22
3.4 相位調制方法 23
3.4.1相位演算法 26
3.5 電光晶體之相移調制方法 29
3.6 合成波長 32
3.7誤差分析 34
3.7.1偏極混合誤差 34
3.7.2灰階化誤差 36
3.8小結 36
第四章 測量原理與實驗結果 37
4.1 前言 37
4.2 測量原理 37
4.3 實驗結果 42
4.4 討論 48
4.5 小結 52
第五章 結論 53
參考文獻 54

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