臺灣博碩士論文加值系統

本文將要引介一套PC-Based 線性馬達驅動控制系統，因為此控制系統具有開放性，擴充性與價格低等優點，因此近年來各種產業的使用也越來越廣泛。此套系統採用工業級電腦作為控制核心，並於電腦內配置輸出入，數位/類比轉換，與運動及視覺等介面卡裝置，以接收由外部回傳之狀態訊號，加以運算，並輸出訊號控制線性馬達引導機台動作。此控制系統，搭載顯微鏡箱，雷射，CCD鏡頭取像即可達到檢測與修補之功能。因此可廣泛應用於奈米級之半導體及TFT LCD檢測修補設備。

This paper will introduce a PC-Based linear motor drive control system, because this control system has an open, scalable and low price, so the use of various industries in recent years more and more widely. This system use a set of industrial computer as the control and configure the input and output on the computer, digital/analog conversion, and movement and visual devices such as adapters to receive the return of the state by an external feedback signal, to operations ,and output signal control of linear motors to guides the machine moves. The control system can be equipped with a microscope boxes, laser, charge coupled device (CCD) camera can be taken as function to detect and repair. It can be widely used in nanoscale semiconductor and thin film transistor liquid crystal display (TFT- LCD) test equipment.

中文摘要 --------------------------------------------- i
英文摘要 --------------------------------------------- ii
誌謝 --------------------------------------------- iii
目錄 --------------------------------------------- iv
表目錄 --------------------------------------------- vi
圖目錄 --------------------------------------------- vii
符號說明 --------------------------------------------- x
一、 緒論-------------------------------------------- 1
1.1 前言-------------------------------------------- 1
1.2 文獻回顧---------------------------------------- 1
1.3 研究動機與目的---------------------------------- 3
1.4 論文內容---------------------------------------- 4
二、 研究內容與方法---------------------------------- 5
2.1 線性馬達---------------------------------------- 5
2.1.1 基本原理---------------------------------------- 5
2.2 編碼器-光學尺----------------------------------- 7
2.2.1 原理與構造-------------------------------------- 7
2.2.2 光學尺與光學編碼器之工作原理-------------------- 7
2.3 PC-Based線性馬達驅動系統控制架構---------------- 10
2.3.1 驅動器結構-------------------------------------- 10
2.3.2 線性馬達驅動器工作原理-------------------------- 12
2.3.3 MEI-ZMP軸卡運動控制方式與功能------------------- 15
2.3.4 SynqNet軟體工具--------------------------------- 18
三、 理論-------------------------------------------- 21
3.1 ZMP軸卡通訊速率規範----------------------------- 21
3.2 ZMP軸卡的兩種移動模式設定----------------------- 23
3.3 龍門架構原理與控制方程式------------------------ 24
3.4 PID控制器之原理與設計--------------------------- 26
3.4.1 PID控制器的原理--------------------------------- 26
3.4.2 數位PID控制器設計原理--------------------------- 28
3.5 頻率響應---------------------------------------- 31
3.6 波德圖（bode diagram）-------------------------- 32
3.6.1 波德圖基本模式與種類---------------------------- 32
3.6.2 系統相對穩定度---------------------------------- 33
四、 實作部份---------------------------------------- 35
4.1 Motion Console 馬達移動控制相關參數訯定與調整--- 35
4.2 Bode Tool參數設定與調整方法--------------------- 46
4.3 雙軸龍門雷射干涉儀量測方法---------------------- 55
五、 結論-------------------------------------------- 71
參考文獻---------------------------------------- 73
自傳-------------------------------------------- 76

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