臺灣博碩士論文加值系統

熱負荷通常經由乾盤管耗電能來帶走，本論文將利用熱負荷於二流體與高壓微霧加濕器的等焓加濕設備。換言之，在等焓加濕過程，外氣空調箱所提供補償空氣所需增加的焓量，可以從原先只有二流體等焓加濕設備時所規劃的量大大減少。若乾盤管的流量零時，其減少的量可以與熱負荷的量相同。在此理想狀況下，將有雙重的能源的節省，也就是，外氣空調箱加熱所需的瓦斯費用，以及原先只有二流體等焓加濕設備時，乾盤管需要耗電能帶走熱負荷的費用。
節能加濕設備是具有兩層加濕設備，是由在外氣空調箱的二流體等焓加濕設備，以及裝置於潔淨室回風路徑的高壓微霧加濕器組合而成。相關加濕能力以各負責一半來設計，如此就能將最佳的補償空氣的絕對溼度固定，加濕能力對半的設計可進一步適應當熱負荷有兩倍的變動所造成的困擾。因為熱負荷量可以決定增加多少焓於外部空氣，而成為補償空氣；因此補償空氣的乾球溫度，可以藉由已知的絕對溼度設定與焓值決定。本論文主要是根據空氣曲線圖來探討如何利用補償空氣焓值與絕對溼度的調整，配合乾盤管的溫度與流量設定，達到環境溫溼度設定的要求。因此，節能的效果可以利用此圖來計算與預測。本論文針對此具有兩層節能加濕設備，也進行實際運行結果與分析。

The heat loading normally needs the aid of the dry cooling coil (DCC) to remove which need power consumption. In the thesis, the heat loading will be utilized in the extra iso-enthalpy equipment, such as, the two-fluid fog humidifier and the high pressure fog humidifier. In other word, during the humidified period, the adding enthalpy in the make-up air (MA) generated from the original make-up air unit (MAU) can be reduced by the same amount as the heat loading when the flow of DCC becomes zero. Thus the energy saving is double, that is, the gas saving from the MAU and the electricity saving from the DCC.
The energy saving design is a two-stage humidifier consisting of one the two-fluid fog humidifier in the MAU and one high pressure fog humidifier installed in the returning air path of the clean room. The capacity of each stage of the two-stage humidifier will be designed to be equal, so the optimal absolute humidity setting of MA can simply be fixed. Moreover, the two-stage humidifier is robust to the double variation of the heat loading. It notes that the heat loading can determine how much the adding enthalpy is needed for the outside air (OA) to become the MA. Therefore, the dry ball temperature of the MA can be decided from the known setting of the absolute humidity and enthalpy. The adjustments of the associated settings of MA or DCC to fulfill the requiring setting are studied and discussed based on the psychrometric chart. Therefore, its energy saving can be calculated and predicted from this chart. The implementations and analysis of the proposed two-stage humidifier are also carried out in the thesis.

摘要--i
ABSTRACT--ii
誌謝--iii
目錄--iv
表目錄--vi
圖目錄--vii
第一章 緒論--P1
1.1前言--P1
1.2文獻回顧--P2
1.3研究目的--P4
第二章空氣調節及設備--P5
2.1空氣、水特性--P5
2.2空氣線圖--P7
2.3外氣空調箱--P11
2.4外氣處理程序--P13
2.5二流體加濕器作用原理--P16
第三章 設計理念與空氣線圖之探討--P21
3.1二流體加濕器之加濕空氣曲線圖--P21
3.1.1 SA飄移--P22
3.2加濕過程之節能構想--P25
3.3高壓微霧加濕系統絕對濕度基本需求量--P28
3.3.1高壓微霧加濕系統加濕量--P30
3.4二流體搭配高壓微霧之加濕空氣曲線圖--P31
3.4.1二流體搭配高壓微霧加濕各區域說明--P32
3.4.2二流體搭配高壓微霧加濕之相關設定調整--P33
第四章 研究標的潔淨室與設計實驗
4.1溫濕度、室壓差控制--P42
4.2高壓微霧加濕系統裝置及運轉成本--P43
4.3實驗步驟--P44
4.4中控室SCADA圖控軟體操作--P46
第五章 研究結果與討論--P51
5.1節能效益--P51
5.2穩定度--P54
第六章 結論與未來展望--P56

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