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研究生:劉昆其
研究生(外文):Kuen-Chi Liou
論文名稱:利用光受挫內部全反射法激發表面電漿波於有毒氣體之研究
論文名稱(外文):Using the Excitation Surface Plasma Waves by the Method of Optical Frustrated Total Internal Reflection to the toxic gases Measurement
指導教授:李正民李正民引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:清雲科技大學
系所名稱:電子工程系所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2009
畢業學年度:97
語文別:中文
論文頁數:76
中文關鍵詞:表面電漿波光受挫式內部全反射Otto組態Kretschmann組態有毒氣體
外文關鍵詞:surface plasma wavesfrustrated total internal reflectionOtto configurationKretschmann configurationtoxic gas
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本論文是根據光受挫式內部全反射方法及利用稜鏡耦合Otto組態與Kretschmann組態來激發表面電漿波。由於各種有毒氣體(如:一氧化碳、二氧化硫、氨氣、硫化氫、氰化氫、氟化氫)之介電常數皆不相同,可在激發表面電漿波時,靈敏地辨別不同有毒氣體之共振角度與吸收的深度。在研究中首先利用表面電漿波理論推導出本研究之三層反射率公式,再進行電腦模擬。電腦模擬先針對各種不同有毒氣體做分析與比較,並且分析各種有毒氣體在Otto組態與Kretschmann組態中激發表面電漿波的特性差異處;在設計實驗光路時運用平行光束做為激發表面電漿波的入射光源,利用旋轉平台旋轉改變入射光射入稜鏡的角度,其會影響測量出來的反射光強度大小,利用電腦儲存反射光強度的變化數據進行分析研究。本研究應用在於工業安全與居家安全上對人體遭成有害的有毒氣體檢測,經由此監測系統有效的防範,以避免意外災害的發生。
This thesis is based on frustrated total internal reflection and the use of prism-coupled Kretschmann configuration with the Otto configuration to the surface plasma wave excitation. Because of a variety of toxic gases (example: carbon monoxide, sulfur dioxide, ammonia, hydrogen sulphide, hydrogen cyanide, hydrogen fluoride) neither of the same dielectric constants, can be excited surface plasma waves, the sensitivity to identify the different toxic gases and the absorption of the resonance angle depth. First of all, in the study of the use of surface plasma waves of this study was derived from three-layer formula, further computer simulation. For computer simulation of the first to do a variety of toxic gas analysis and comparison, and analysis of toxic gases in the Otto configuration in the Kretschmann configuration and excitation characteristics of the surface plasma wave differences; and in the design of the experimental use of the parallel light beam when the road as the excitation of surface plasma waves incident light source, the use of spin rotation stage to change the angle of incident light into the prism, which will affect the measured size of the reflected light intensity, the use of computer storage of the reflected light intensity changes in the data analysis. Application of this study lies in industrial safety and home safety to human being into harmful toxic gas detection, as a result of effective monitoring systems to prevent, so as to avoid the occurrence of accidents disasters.
中文摘要 …………………………………………………………………i
英文摘要…………………………………………………………………ii
誌謝 ……………………………………………………………………iii
目錄………………………………………………………………………iv
表目錄……………………………………………………………………vi
圖目錄 …………………………………………………………………vii
符號說明 …………………………………………………………………x
第一章 緒論………………………………………………………………1
1.1 前言………………………………………………………………1
1.2 研究動機與方法…………………………………………………2
1.3 章節概述…………………………………………………………3
第二章 表面電漿波基本理論簡介………………………………………4
2.1 表面電漿波之簡介………………………………………………4
2.2 光學性質…………………………………………………………5
2.2.1 反射定律……………………………………………………5
2.2.2 折射定律(斯涅爾定律)……………………………………6
2.2.3 全反射………………………………………………………8
2.2.4 受挫內部全反射 …………………………………………10
2.3 三層系統之反射率 ……………………………………………11
2.4 利用稜鏡激發表面電漿波之Otto組態與KR組態 ……………12
2.5 表面電漿波之色散關係 ………………………………………16
2.6 有毒氣體簡述 …………………………………………………20
第三章 實驗系統架構 …………………………………………………22
3.1 實驗量測方法 ………………………………………………22
3.1.1 Otto組態的實驗架構 ……………………………………22
3.1.2 KR組態的實驗架構 ………………………………………23
3.2 實驗光路設計 …………………………………………………24
3.3 有毒氣體量測技術 ……………………………………………26
第四章 實驗模擬分析 …………………………………………………27
4.1 利用Otto組態方式 ……………………………………………28
4.1.1 Otto組態之一氧化碳量測 ………………………………28
4.1.2 Otto組態之二氧化硫量測 ………………………………31
4.1.3 Otto組態之氨氣量測 ……………………………………34
4.1.4 Otto組態之硫化氫量測 …………………………………37
4.1.5 Otto組態之氰化氫量測 …………………………………40
4.1.6 Otto組態之氟化氫量測 …………………………………43
4.2 利用KR組態方式 ………………………………………………47
4.2.1 KR組態之一氧化碳量測 …………………………………47
4.2.2 KR組態之二氧化硫量測 …………………………………50
4.2.3 KR組態之氨氣量測 ………………………………………53
4.2.4 KR組態之硫化氫量測 ……………………………………56
4.2.5 KR組態之氰化氫量測 ……………………………………59
4.2.6 KR組態之氟化氫量測 ……………………………………62
4.3模擬結論…………………………………………………………66
4.3.1 Otto組態之金屬薄膜材質對有毒氣體之分析比較 ……66
4.3.2 KR組態之金屬薄膜材質對有毒氣體之分析比較 ………67
4.3.3 使用Otto組態與KR組態結構對有毒氣體之分析比較 …70
第五章 結論 ……………………………………………………………72
參考文獻…………………………………………………………………74
簡歷………………………………………………………………………77
1.行政院環境保護署,毒理資料庫系統,民國九十八年。
2.李正民、邱國華、鍾朝凱、邱繼正、錢志暹,「表面電漿波激發KR組態一氧化碳監測系統」,2006台灣光電科技研討會暨國科會光電學門研究成果發表會,EP-053頁,新竹,民國九十五年十二月十五日。
3.李正民、邱國華、鍾朝凱、邱繼正、錢志暹,「表面電漿波於一氧化碳感測器的設計與量測」,2006兩岸機電暨產學合作學術研討會,27頁,新竹,民國九十五年十一月一日。
4.李正民、邱繼正、邱國華、錢志暹、鍾朝凱,「利用表面電漿波KR組態預防氯氣外洩機制之研究」,2006台灣光電科技研討會暨國科會光電學門研究成果發表會,Session E 光學工程及薄膜,EP-051頁,新竹,民國九十五年十二月十五日。
5.李正民、劉昆其、錢志暹、邱繼正、邱昱寰、吳昀峰,「利用受挫式內部全反射法激發表面電漿波於有毒氣體偵測之研究」,2007兩岸機電暨重要特色領域人才培育改進計畫學術研討會,Session D1(I) 機電控制、D-7頁,新竹,民國九十六年十一月七日。
6.李正民,劉昆其,錢志暹,邱繼正,邱昱寰,吳昀峰,「利用OTTO組態激發表面電漿波於偵測氣體氨與苯之研究」,2007台灣光電科技研討會暨國科會光電學門研究成果發表會,光學工程及薄膜、EP-093頁,台中,民國九十六年十一月三十日。
7.李正民,「表面電磁波在多層薄膜界面的性質研究」,國立中央大學物理與天文研究所碩士論文,民國七十四年。
8.邱國華,「利用受挫內部全反射法激發表電漿波之氣體感測器之研究」,清雲科技大學電子工程所碩士論文,民國九十六年。
9.邱繼正,「利用光受挫式內部全反射法激發表面電漿波於氯及鹵甲烷的量測」,清雲科技大學電子工程所碩士論文,民國九十七年。
10.莊琇琇,「梯形磷化鎵蕭基二極體的激發表面電漿波特性及量子效應之研究」,清雲科技大學電子工程所碩士論文,民國九十五年。
11.廖志雄,「在多層膜系統中表面電漿子的共振特性與化學感測器的最佳化之研究」,國防大學中正理工學院國防科學研究所博士學位論文,民國八十六年。
12.鍾朝凱,「利用光受挫全內部反射方法激發表面電漿波於真空量測技術研究」,清雲科技大學電子工程所碩士論文,民國九十六年。
13.蘇文寬,「利用激發表面電漿波對化學感測器及光電調制器之研究」,博士論文,國防大學中正理工學院國防科學研究所,民國八十九年。
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