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研究生:

鄭鈞文

研究生(外文):

Cheng, Chun-Wen

論文名稱:

多重真空微感測器整合之晶圓級製程平台的開發與實現

論文名稱(外文):

Development and implementations of wafer-level process platform with various vacuum conditions for micro sensors integration

指導教授:

方維倫

指導教授(外文):

Fang, Wei-Leun

口試委員:

范龍生、李昇憲、盧向成、林宗賢、邱一

口試委員(外文):

Fan, Long-Sheng、Li, Sheng-Shian、Lu, Shiang-Cheng、Lin, Chung-Hsien、Chiu, Yi

口試日期:

2017-04-18

學位類別:

博士

校院名稱:

國立清華大學

系所名稱:

動力機械工程學系

學門:

工程學門

學類:

機械工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

2017

畢業學年度:

105

語文別:

中文

論文頁數:

123

中文關鍵詞:

微機電製程整合平台、加速度計、陀螺儀、磁力計、微機械共振器、派朗尼壓力計

外文關鍵詞:

MEMS process Platform、Accelerometer、Gyroscope、Magnetic Sensor、MEMS Resonators、Pirani gauge

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