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研究生:

蔡宜霈

研究生(外文):

Tsai, Yi Pei

論文名稱:

鰭式電晶體技術下電漿感應充電效應之偵測與記錄

論文名稱(外文):

A Study of On-chip In-Situ Chamber Recorders for Plasma Induced Damage Effect in Advanced FinFET Technologies

指導教授:

林崇榮

指導教授(外文):

Chrong Jung Lin

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立清華大學

系所名稱:

電子工程研究所

學門:

工程學門

學類:

電資工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

2016

畢業學年度:

104

語文別:

中文

論文頁數:

中文關鍵詞:

電漿感應損害、鰭式電晶體、天線效應

外文關鍵詞:

plasma induced damage、FinFET、Antenna Effect

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