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研究生:程履平
研究生(外文):Cheng, Lv-Ping
論文名稱:離子佈置磷原子在長熱氧時之重新分佈
指導教授:楊銀圳楊銀圳引用關係
指導教授(外文):Yang, Yin-Zun
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:應用物理研究所
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
畢業學年度:64
語文別:中文
中文關鍵詞:應用物理學物理學
外文關鍵詞:APPLIED-PHYSICSPHYSICS
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霍爾效應測量配合陽極氧化為本實驗之測量工具。凡得堡圖形利用光罩技術,
做成在矽晶片上,陽極氧化的範圍被一特弗龍容器所涵蓋。理論預測利用數值分析
算得,與實驗結果略有出入,原因似為測霍爾電壓時,有漏電現象之故。

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