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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:彭大慶
研究生(外文):Peng, Dai-Qing
論文名稱:氮載氣中以鋅-砷-磷-三元源作磷砷化鎵之鋅擴散研究
指導教授:吳添壽
指導教授(外文):Wu, Tian-Shou
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
畢業學年度:68
語文別:中文
中文關鍵詞:氮載氣體三元擴散源電機工程
外文關鍵詞:ELECTRICAL-ENGINEERING
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本研究係以氮為載氣體,於二溫度區擴散系統中,利用鋅-砷-磷三元擴散源,克
服Ⅲ-Ⅴ族化合物作開管式擴散時表面的化學組成比問題,並將鋅的表面濃度由變
化二溫度區爐之爐溫予以降低,作N型磷砷化鎵之開管式鋅擴散。
由適當的溫度控制及鋅-砷-磷三元源成分的適當控制,發展出最佳的擴散程序。
經測量製成P-n接面二極體的光、電特性,在10毫安直流順向電流時,得7 mcd
之發光強度及0.18﹪之外量子效率。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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