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研究生:李志浩
研究生(外文):Li, Zhi-Hao
論文名稱:藉帶電粒子活化分析法測定磷外鎵中的氮含量
指導教授:周仁章
指導教授(外文):Zhou, Ren-Zhang
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:核子工程研究所
學門:工程學門
學類:核子工程學類
論文種類:學術論文
畢業學年度:68
語文別:中文
中文關鍵詞:帶電粒子活化分析法磷外鎵氮含量核子學原子學科學
外文關鍵詞:NUCLEAR-SCIENCEATOMICSSCIENCE
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磷化鎵晶體滲入氮原子,是製造高量子效率的發光二極體必要的過程。本文中藉帶
電粒子活化分析法測定磷化鎵晶體中液態磊晶層的氮含量,並分別決定液塞直拉單
晶層中氮與硼的含量。
液態磊晶層氮含量的測定採用質子活化氮原子生成C11的方法。液塞直拉單晶層氮
含量的測定則採用:(1)雙能量活化分析法;(2)氘離子活化法。活化所得的
放射性核種C11,經化學分離之後,再以伽馬-伽馬符合偵檢線路測量其活性,最
後以比較法求得其含量。
對於實驗所得的液態磊晶層氮含量與液態磊晶程序之間的關係也加以敘述。
實驗的結果顯示,液塞直拉單晶層中氮含量約為1018原子每立方厘米,硼含量為
1017原子每立厘米,液態磊晶層氮含量為1.2×1018 ∼ 1.5×1018原子
/立方厘米,比值已達液態磊晶中氮原子溶解度的飽和點。
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