本文利用 Z80 微算機來控制擴散爐之溫度。 文中描述了以脈波率技巧為基礎的爐 子加熱器功率控制電路。此電路提供了直接數位的整數週期的交流電力雙向閘控矽 開關控制。並證實這方法使導通的整數週期做最佳的時問分佈以導致最小的溫度漣 波。 為了保持擴散爐溫度的穩定,以熱電偶為感覺器的溫度取得電路用來將實際的爐溫 回輸至微算機,和設定溫度比較。然後,微算機根據誤差的大小,輸出控制信號至 爐子加熱器功率控制電路,以調整控制週期 TP 內交流電力的導通週期數。因此, 爐溫得以保持定值,並可任意改變設定值以改變其溫度。 利用軟體程式,熱電偶熱電效應的非線性部份得以獲得矯正。 文中並設計了一數字溫度計來監視擴散爐的實際溫度。 此為一資訊抽樣回輸控制系統,由實驗所得的系統響應,顯示了此溫度控制系統之 動作確實可行。 #2811297 #2811297
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