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研究生:孫恩源
研究生(外文):Sun, En-Yuan
論文名稱:電漿輔助化學氣相沈積非晶形矽材料及元件之研製
論文名稱(外文):The structural properties of a - si: H film prepared by PECVD system
指導教授:熊慎幹
指導教授(外文):Xiong, Shen-Gan
學位類別:碩士
校院名稱:中原大學
系所名稱:電子工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
畢業學年度:71
語文別:中文
論文頁數:40
中文關鍵詞:電漿輔助化學氣相沈積氣相沈積非晶形矽元件半導體光電電子工程
外文關鍵詞:ELECTRONIC-ENGINEERING
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非晶形矽半導體(Amorphus Sihicon Semiconduetor)由於其製程簡單,成本低廉,無
論在教學研究或商業價值上都極具吸引和發展潛力,在某些功能和應用上甚且凌駕晶
形半導體。
非晶形矽半導體之主要發展潛力是其一些光電特性的研究與應用,然其光電特性又深
受其組織結構(Compositional strwture)的影響。由於非晶形材料之一主要特色即其
結構組成排列無晶形材料般的長程次序(long range order),故其結構較紊亂,並且
其由聚合作用或分解作用所形成之組態度受製程狀況(prepare condition) 如溫度、
壓力等很大的影響,故欲研究在各種狀況下,所成長之非晶形矽和其他少量氣體所形
成的組態,並探討何種具有最佳的光電特性。

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