為了清楚地瞭解金屬一矽蕭特基能障二極體的接面特性，本文特地發展一套由電子和
電和電洞擴散方程式及帕松方程式所構成的數值分析程式。將電子和電洞之熱發射理
論視為庫續方程式在接面的邊界條件，而解出電流一電壓特性。以金屬工作函數，矽
的電子親和力，介層參數及表面狀態密度做為高斯函數。相當散亂的能障高度測量值
，甚不理想正向電流一電壓特性，以及金屬一矽化物一矽蕭特基能障二極體反向電流
一電壓的軟化現象均能以表面狀態密度及介層電容來模擬而無需假設像力效應。