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研究生:

姚亮吉

研究生(外文):

Yao, Liang-Ji

論文名稱:

鉬矽化物之研究

指導教授:

凌北卿、羅正忠

指導教授(外文):

Ling, Bei-Qing、Luo, Zheng-Zhong

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立清華大學

系所名稱:

材料科學工程研究所

學門:

工程學門

學類:

材料工程學類

論文種類:

學術論文

畢業學年度:

語文別:

中文

中文關鍵詞:

鉬、矽、矽化物、蒸鍍、矽晶片、材料科學、物理

外文關鍵詞:

MATERIALS-SCIENCE、PHYSICS

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本研究乃於真空中以電子槍方法蒸鍍金屬鉬薄膜於不同溫度的（100）和（111）矽晶
片上。在氮爐中以各種溫度熱反應後，找尋其反應溫度和所形成的相。上述同樣的試
片，在離子佈植後，亦做同樣的實驗，比較反應程序後，討論其差別之原因。不同厚
度之鉬薄膜在紅外線熱反應後，亦做相變化之探討。利用穿透式電子顯微鏡、Ｘ—光
和凡得普電阻測量來研究各種矽化物的形成和特性。

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