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研究生:

徐全福

研究生(外文):

Xu, Quan-Fu

論文名稱:

以漿液鑄造方式製造反應鍵結氮化矽之研究

指導教授:

許樹恩

指導教授(外文):

Xu, Shu-En

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立臺灣大學

系所名稱:

材料科學工程研究所

學門:

工程學門

學類:

材料工程學類

論文種類:

學術論文

畢業學年度:

語文別:

中文

中文關鍵詞:

鑄漿、鑄造、氮化矽、反應鍵結、燒結、材料科學、物理

外文關鍵詞:

MATERIALS-SCIENCE、PHYSICS

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本文分兩大部份進行研究，第一部份為鑄漿過程與方法，結果發現可以使用無水酒精
當作濕磨劑以增加其研磨效率，並採用蒸煮技術以促進矽粉和載劑水之間的穩定。
第二部份為反應鍵結過程，先使用TGA 量測低溫時的反應速率再應用到實際鍵結過程
，結果發展出一較佳的昇溫曲線，一般反應鍵結氮化矽之反應溫度，為避免分解皆限
於1450℃左右，本文將以二次燒結方法昇溫到1800℃探討其機性質。

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