臺灣博碩士論文加值系統

本研究係利用化學氣相沈積法(CVD) ，於一大氣壓的蒸鍍系統下，將鋁蒸鍍於鎳基超
合金(IN713LC、Inconel 718)表面，形成NiAl鍍層以增加其抗高溫化的能力。其方法
為改變蒸鍍溫度、蒸鍍時間及AlC3的飽和溫度，採討蒸鍍溫度對鍍層成長速率和性質
的影響。
由實驗結果顯示，鍍層的成長速率由氣目擴散控制，表面無法達到完全的平衡。因為
隨著蒸鍍溫度不同、邊界條件也改變，所以鍍層成長速率與溫度的關係不遵循Arrhen
ius equation。
鍍層的性質可由鋁的活性度來控制，在NiAl及富A1的NiAl相中，鋁的擴散速率遠
較鎳為快，所以由鋁往內之擴散所控制，為高鋁濃度的主要生成相，在富Ni的NiAl和
NiAl相中，鎳的擴散速率遠較鋁為快，所以由鎳往外之擴散所控制，為低鋁濃度的
主要生成相。改變蒸鍍條件可得到不同的鋁活性度，因而生成各種性質的鍍層。
以化學氣相沈積法所得到的鍍層性質和粉浴法相類似，但鍍層中不會有異質存在，且
蒸鍍條件容易控制，有很好的被覆性。