本論文敘述利用控制電射輸出功率,而使頻率與功率同時穩定的方法。先將電射輸出 功率轉換為電壓並與參考電壓相比較,以產生一誤差信號,再將此信號中的低頻與高 頻部分,分別送至加熱迴路和PZT 快速校正迴路,以期同時補償因外來因素所產生的 不穩定。 文中詳細分析造成功率及頻率不穩定的原因。建立了快速校正迴路的物理模型,並求 得其轉換函數,同時也討論了此模型與實驗數據間些微差異的原因。其次,對系統的 控制原理和方法加以研討,進而完成整個控制系統及自動量測系統。在頻率穩定度( 方面,長時間穩定度可達±5×10,短時間穩定度可達±3×10, 而Allan Variance在T=lsec時為2.77×10,T=0.1lsec時為4.2 05×10。而功率穩定度( )可達±0.025%。
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