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研究生:蔡崇昇
研究生(外文):CAI, CHONG-SHENG
論文名稱:以化學氣相沈積法在工具鋼及不銹鋼上成長氧化鋁之研究
指導教授:涂肇嘉
指導教授(外文):TU, ZHAO-JIA
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:機械工程研究所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1986
畢業學年度:74
語文別:中文
中文關鍵詞:化學氣相沈積法工具鋼不銹鋼氧化鋁
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本論文係利用化學氣相沈積法,以A1C13+CO2+H2為反應氣體,蒸鍍溫度800~950℃
,A1C1氣化溫度150~170℃,CO2流量0.5~2l/min,h(輸送氣體)流量0.7l/min ,
H2(反應氣體)流量5~9l/min,系統壓力稍大於一大氣壓,在工具鋼(D2,H13),
及不鏽鋼(A1S1 304)上被覆氧化鋁薄膜,探討素材與蒸鍍參數對蒸鍍層成份、蒸鈍
速率、表面結構的影響。
結果顯示:在蒸鍍溫度為800℃ 時,所得的氧化鋁為+K相,850℃~950℃時為相
,且隨溫度昇高有(1014)優向指向。提高H流量、CO流量及A1C13 氣化溫度皆可提
高氧化鋁蒸鍍速率。反應活化能為36.kcal/mole。素材本身的碳化物含量及分佈情形
對蒸鍍層的附著性與表面結構有深切影響。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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