因為雷射光的特殊性能,使它成為解決許多工業問題的最佳工具。與傳統方法比較, 精確、便捷,及產生電子訊號以供回饋控制是雷射方法的優點。 本文主旨即在對雷射掃瞄式尺寸量測系統的線性加以改進與提昇。 雷射掃瞄式尺寸量測系統由於本身元件的線性關係和使用時的系統誤差將會造成系統 精確度的損失。我們設法從二方面來將此情況加以改進。首先是掃瞄透鏡(f-theta lens )設計,設計透鏡方程式為入射角度成正比的關係,直接改進系統組成元件的線 性規格。其次,利用數學的處理,對於處在非良好狀況下的系統進行軟體的修正,以 提升系統的精確度。
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