臺灣博碩士論文加值系統

鋁合金廣泛應用於積體電路之通路（interconnect）上，然而製造上仍存在一些問題
。本研究首先探討鋁矽合金濺鍍膜的一些基本特性，接著研究活性離子蝕刻（RIE ）
在金屬膜圖形轉換（pattern transfer）過程，可能引發的腐蝕問題，同時RIE 的蝕
刻參數蝕刻率的影響亦做初步的探討。最後再研究基質面磷玻璃（PSG ）之磷含量對
上層金屬膜所造成腐蝕之現象。