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研究生:

黃姝香

研究生(外文):

HUANG, SHU-XIANG

論文名稱:

氧化鉭的電性研究

論文名稱(外文):

Electrical characteristics of the tantalum oxide

指導教授:

黃瑞星

指導教授(外文):

HUANG, RUI-XING

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立清華大學

系所名稱:

電機工程研究所

學門:

工程學門

學類:

電資工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

1986

畢業學年度:

語文別:

中文

中文關鍵詞:

氧化鉭、電性、介電材料、偏極化現象、電壓效應、二氧化矽

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點閱:143
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氧化鉭及氧化鉭一二氧化矽雙層介電材料的電性已詳細被研究。偏極化現象，頻率分
散，和電壓效應已從電容一電壓的量測中被觀測，在高壓時，傳導的特性已被發現是
遵照Frenkcl-Poole 的行為。漏電流及崩潰電場也被提到。將氧化矽上，以濺射法的
堆積氧化鉭，然後在低溫下做熱褪火處理，已被證實有合理且良好的電性質。這結果
顯示出雙層介電材料在DRAM超大型積體電路的應用方面，有驚人的潛力。

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