本文的主要目的是延至一個低能量高電流的電子槍，由於實驗上的需要，我們欲設計能量調變可由12eV至35eV，電流可達10uA以上的電子槍，同時要求電子束成向直徑維持在1mm左右。然而以舊有電子槍的設計，其電流的測試結果只有0.5uA，為陰極發射電流的1/8000，所以我們針對此電流過小的問題，在設計上加以改良。
爲了使陰極發射電流能夠有效地進入電子槍的聚焦系統，五們設計據束電及以改變電子源的電場形態，使電子能平行射入陽極孔徑。同時根據陽極電壓及孔徑對電子束電流的定量分析可知增加陽極電位及孔徑大小為提高電子槍電流的有效方法，故我們將陽極電壓增為100v，而孔徑的半徑為0.5mm。除此之外並且重新調整各電鏡的電壓比值降低電子填充比，以避免電子因撞上鏡壁而使得電流減少。
經過上述設計所改良之電子槍，其電流有顯著的增加，而其他電子槍的特性測試結果亦達到我們預期的目標，唯有在低能量(14eV以下)的電子束因空間電荷效應而使得丞相直徑擴至1.5mm，故欲減少空間電荷效應所造成的影響，則電子槍的長度必須縮短以減少無場空間的聚哩，如此則可得到較好的聚焦電子束。
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